Mikromechanischer kapazitiver Differenzdrucksensor mit hoher Überlastfestigkeit in Silicium-Glas-Technologie:
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|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Berlin
Köster
1996
|
| Edition: | 1. Aufl. |
| Series: | Wissenschaftliche Schriftenreihe Elektrotechnik
14 |
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| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Physical Description: | 125 S. Ill., graph. Darst. |
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INHALT
FORMELZEICHEN
UND
KONSTANTEN
.
5
ZUSAMMENFASSUNG
.
8
1
EINLEITUNG
.
10
2
SENSORKONZEPT
.
13
2.1
MESSTECHNISCHE
RANDBEDINGUNGEN
.
13
2.2
TECHNOLOGISCHE
RANDBEDINGUNGEN
.
14
3
SENSORENTWURF
.
16
3.1
ANALYTISCHE
ABSCHAETZUNG
DER
ERFORDERLICHEN
MEMBRAN
UND
SENSORABMESSUNGEN
.
16
3.2
UNTERSUCHUNGEN
MIT
HILFE
DER
FINITE-ELEMENTE-METHODE
.
21
3.2.1
BRUCHVERHALTEN
VON
SILICIUM
UND
GLAS
.
23
3.2.2
SIMULATION
EINER
SILICIUM/PYREX-TESTSTRUKTUR
.
25
3.2.3
SIMULATION
EINES
PYREX/SILICIUM/PYREX-VERBUNDES
.
39
3.2.4
ZUSAMMENFASSUNG
DER
SIMULATIONSERGEBNISSE
.
64
3.3
UMSETZUNG
DER
SIMULATIONS
UND
VORVERSUCHSERGEBNISSE
IN
EIN
SENSORDESIGN
.
66
3.4
ZUSAMMENFASSUNG
.
70
4
VORVERSUCHE
AN
SILICIUM/PYREX-TESTSTRUKTUREN
.
72
4.1
HERSTELLUNG
UND
UNTERSUCHUNG
EINER
PYREX/SILICIUM-TESTSTRUKTUR
.
72
4.1.1
PROZESSABLAUF
.
73
4.1.2
MESSTECHNISCHE
UNTERSUCHUNG
DER
TESTSTRUKTUREN
.
78
4.1.3
ZUSAMMENFASSUNG
DER
UNTERSUCHUNGSERGEBNISSE
.
90
4.2
HERSTELLUNG
UND
UNTERSUCHUNG
EINER
PYREX/SILICIUM/PYREX-TESTSTRUKTUR
.
92
4.2.1
PROZESSABLAUF
.
92
4.2.2
ERGEBNISSE
DER
BERSTVERSUCHE
.
97
4.2.3
ZUSAMMENFASSUNG
DER
UNTERSUCHUNGSERGEBNISSE
.
101
5
TECHNOLOGISCHE
REALISIERUNG
DES
DIFFERENZDRUCKSENSORS.
103
5.1
SILICIUMSTRUKTURIERUNG
UND
-METALLISIERUNG
.
103
5.2
GLASSTRUKTURIERUNG
UND
-METALLISIERUNG
.
105
5.3
SILICIUM/PYREX-VERBINDUNGSTECHNIK
.
108
6
MESSTECHNISCHE
CHARAKTERISIERUNG
DES
SENSORS
.
110
6.1
FUNKTIONSTEST
UNGEHAEUSTER
SENSOREN
.
110
6.2
MESSAUFBAU
.
112
6.3
MESSERGEBNISSE
.
113
7
DISKUSSION
UND
AUSBLICK
.
117
DANKSAGUNG
.
119
LITERATURVERZEICHNIS
.
120 |
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