(1991). Excimer laser materials processing and beam delivery systems: 8 - 9 November 1990, Boston, Massachusetts. SPIE.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Excimer Laser Materials Processing and Beam Delivery Systems: 8 - 9 November 1990, Boston, Massachusetts. Bellingham, Wash: SPIE, 1991.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Excimer Laser Materials Processing and Beam Delivery Systems: 8 - 9 November 1990, Boston, Massachusetts. SPIE, 1991.
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