Bestimmung von Konzentrationsprofilen mit der Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse:
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Geesthacht
GKSS
1995
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| Edition: | Als Ms. vervielfältigt |
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
7
2
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
12
2.1
LONENZERSTAEUBUNGSTECHNIK
12
2.1.1
LONENZERSTAEUBUNG
MIT
EINER
KAUFRNANNIONENQUELLE
12
2.1.2
SPUTTERRATE
UND
AUSBEUTE
14
2.1.3
UNERWUENSCHTE
EINFLUESSE
DES
SPUTTEMS
AUF
DAS
TARGET
15
2.2
ROENTGENFLUORESZENZANALYSE
18
2.2.1
WECHSELWIRKUNG
VON
ROENTGENSTRAHLUNG
MIT
MATERIE
19
2.2.2
ROENTGENOPTIK
UND
TOTALREFLEXIONS-ROENTGENFLUORESZENZANALYSE
20
2.2.3
BERECHNUNG
DER
FLUORESZENZINTENSITAETEN
24
3
EXPERIMENTELLE
METHODEN
UND
AUSWERTUNGSVERFAHREN
28
3.1
HERSTELLUNG
UND
PRAEPARATION
DER
PROBEN
28
3.1.1
PROBENHERSTELLUNG
28
3.1.2
KEILFOERMIGES
ABTRAGEN
VON
PROBEN
DURCH
LONENSTRAHLSPUTTEM
29
3.2
TOTALREFLEXIONS-ROENTGENFLUORESZENZSPEKTROMETRIE
32
3.2.1
KALIBRIERUNG
DES
SPEKTROMETERS
33
3.2.2
DURCHFUEHRUNG
UND
QUANTIFIZIERUNG
VON
TRFA-MESSUNGEN
35
3.2.3
WINKELAUFGELOESTE
MESSUNG
UND
ZERSTOERUNGSFREIE
PROBENCHARAKTERISIERUNG
37
3.2.4
POSITIONSAUFGELOESTE
MESSUNGEN
UND
OBERFLAECHENCHARAKTERISIERUNG
40
3.2.5
TIEFENKALIBRIERUNG
MIT
DER
TRFA
41
3.3
KONZENTRATIONSTIEFENPROFILANALYSE
44
3.3.1
DEFINITION
UND
BESTIMMUNG
DER
TIEFENAUFLOESUNG
44
3.3.2
KORREKTUR
DES
KONZENTRATIONSVERLAUFS
DURCH
BERUECKSICHTIGUNG
DER
INFORMATIONSTIEFE
46
3.4
ZUSAMMENFASSUNG
DER
EXPERIMENTELLEN
METHODEN
49
4
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
51
4.1
TIEFENPROFILANALYSE
EINES
TI/AL-MODELLSYSTEMS
51
4.1.1
CHARAKTERISIERUNG
DES
AUSGANGSZUSTANDES
52
4.1.2
AUFLOESUNG
DER
GRENZFLAECHE
NACH
DEM
KEILAETZEN
UND
BESTIMMUNG
DER
TIEFENAUFLOESUNG
55
4.1.3
UEBERPRUEFUNG
DES
TIEFENPROFILS
61
4.1.4
DISKUSSION
DER
ERGEBNISSE
AN
DEM
TI/AL-MODELLSYSTEM
62
4.2
TIEFENPROFILANALYSE
EINES
THERMISCH
AUSGELAGERTEN
DIFFUSIONSPAARES
64
4.2.1
CHARAKTERISIERUNG
DES
AUSGANGSZUSTANDES
64
4.2.2
KEILAETZEN
UND
BESTIMMUNG
DES
KONZENTRATIONS-TIEFENPROFILS
66
4.2.3
UEBERPRUEFUNG
DES
TIEFENPROFILS
68
4.2.4
DISKUSSION
DER
ERGEBNISSE
AN
DEM
THERMISCH
AUSGELAGERTEN
DIFFUSIONSPAAR
70
4.3
TIEFENPROFILANALYSE
EINER
TITAN-EISEN
MEHRFACHSCHICHTPROBE
74
4.3.1
CHARAKTERISIERUNG
DES
AUSGANGSZUSTANDES
75
4.3.2
KEILAETZEN
UND
BESTIMMUNG
DES
KONZENTRATIONS-TIEFENPROFILS
76
4.3.3
UEBERPRUEFUNG
DES
TIEFENPROFILS
79
4.3.4
DISKUSSION
DER
ERGEBNISSE
AN
DER
TI/FE
MEHRFACHSCHICHT
80
5
TIEFENPROFILANALYSEN
VON
TI/AL-SCHICHTEN
MIT
ALTERNATIVEN
METHODEN
84
5.1
TIEFENPROFILANALYSE
MIT
RUTHERFORD-RUECKSTREU-SPEKTROSKOPIE
84
5.2
TIEFENPROFILANALYSE
MIT
SEKUNDAER-NEUTRALTEILCHEN-MASSENSPEKTROSKOPIE
86
5.3
TIEFENPROFILANALYSE
MIT
ROENTGEN-PHOTOELEKTRONEN-SPEKTROSKOPIE
87
6
VERGLEICH
DER
KEILAETZTECHNIK
MIT
ETABLIERTEN
METHODEN
90
7
ZUSAMMENFASSUNG
94
8
LITERATURVERZEICHNIS
100
9
DANKSAGUNG
103 |
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