Relaxation mechanischer Spannungen in dünnen Metallisierungsschichten:
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Jülich
Forschungszentrum, Zentralbibliothek
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
GRUNDLAGEN
3
2.1
SPANNUNGSMESSUNG
MIT
HILFE
DER
WAFER-KRUEMMUNGSMETHODE
.
3
2.2
SPANNUNGEN
IN
KONTINUIERLICHEN
FILMEN
.
6
2.3
SPANNUNGEN
IN
UNPASSIVIERTEN
LEITERBAHNEN
.
7
2.4
ESHELBY-THEORIE
FUER
PASSIVIERTE
LEITERBAHNEN
.
8
2.5
SPANNUNGSRELAXATION
IN
PASSIVIERTEN
BAHNEN
.
12
2.6
MECHANISMEN
FUER
PLASTISCHE
VERFORMUNG
.
16
2.7
SPANNUNGSRELAXATION
DURCH
HOHLRAUMBILDUNG
.
19
3
EXPERIMENT
23
3.1
PROBEN
.
23
3.1.1
DURCH
ELEKTRONENSTRAHLVERDAMPFEN
HERGESTELLTE
AL
UND
AU-FILME
.
.
23
3.1.2
DURCH
AUFSTAEUBEN
HERGESTELLTE
ALSICU-FILME
.
26
3.2
MESSPRINZIP
UND
APPARATURAUFBAU
.
31
4
MESSERGEBNISSE:
KONTINUIERLICHE
FILME
34
4.1
THERMISCHES
ZYKLIEREN
.
34
4.1.1
AL-FILME
.
34
4.1.2
ALSICU-FILME
.
36
4.1.3
AU-FILME
.
43
4.2
ISOTHERME
SPANNUNGSRELAXATION
.
45
4.3
DISKUSSION
DER
ERGEBNISSE
KONTINUIERLICHER
FILME
.
50
5
MESSERGEBNISSE:
UNPASSIVIERTE
ALSICU-BAHNEN
52
5.1
AUSWERTEVERFAHREN
BEI
UNPASSIVIERTEN
LEITERBAHNEN
.
52
5.2
THERMISCHES
ZYKLIEREN
.
53
5.3
ISOTHERME
SPANNUNGSRELAXATION
.
56
5.4
DISKUSSION
DER
MESSERGEBNISSE
.
59
6
MESSERGEBNISSE:
PASSIVIERTE
LEITERBAHNEN
61
6.1
AUSWERTEVERFAHREN
BEI
PASSIVIERTEN
LEITERBAHNEN
.
61
6.1.1
AUSWERTEVERFAHREN
.
61
6.1.2
VERIFIZIERUNG
DER
AUSWERTEMETHODE
.
66
II
INHALTSVERZEICHNIS
6.2
THERMISCHES
ZYKLIEREN
.
69
6.3
ISOTHERME
SPANNUNGSRELAXATION
.
73
6.4
DISKUSSION
DER
ERGEBNISSE
.
77
7
ZUSAMMENFASSUNG
82
A
IN
DER
ESHELBY-THEORIE
VERWENDETE
TENSOREN
85 |
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