Koplanare Mikrowellenbauelemente aus supraleitendem YBaCuO:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
1996
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Berichte aus der Elektrotechnik
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | IV, 142 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3826511239 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010511260 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19961125 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 951127s1996 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 946149046 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3826511239 |c kart. : DM 89.00 |9 3-8265-1123-9 | ||
| 035 | |a (OCoLC)75668457 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010511260 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-634 |a DE-11 | ||
| 084 | |a ZN 5240 |0 (DE-625)157441: |2 rvk | ||
| 084 | |a ELT 225d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Waffenschmidt, Eberhard |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Koplanare Mikrowellenbauelemente aus supraleitendem YBaCuO |c Eberhard Waffenschmidt |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Aachen |b Shaker |c 1996 | |
| 300 | |a IV, 142 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 0 | |a Berichte aus der Elektrotechnik | |
| 502 | |a Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1995 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Cuprate |0 (DE-588)4148399-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Bariumverbindungen |0 (DE-588)4254994-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Supraleiter |0 (DE-588)4184140-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikrowellenbauelement |0 (DE-588)4123765-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Yttriumverbindungen |0 (DE-588)4298749-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Yttriumverbindungen |0 (DE-588)4298749-0 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Bariumverbindungen |0 (DE-588)4254994-2 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Cuprate |0 (DE-588)4148399-6 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Supraleiter |0 (DE-588)4184140-2 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Mikrowellenbauelement |0 (DE-588)4123765-1 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007006431&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007006431 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1807502173348560896 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
UND
AUFGABENSTELLUNG
.
1
2.
GRUNDLAGEN
ZUM
HOCHFREQUENZVERHALTEN
VON
SUPRALEITERN
.
4
2.1
FREQUENZABHAENGIGKEIT
DES
VERHALTENS
VON
IDEALEN
SUPRALEITERN:
DAS
ZWEIFLUESSIGKEITEN-MODELL
.
4
2.2
DIE
OBERFLAECHENIMPEDANZ
.
6
23
EFFEKTIVE
IMPEDANZ
VON
DUENNEN
SCHICHTEN
.
9
23.1
SCHICHTEN
SENKRECHT
ZUR
AUSBREITUNGSRICHTUNG
.
10
23.2
SCHICHTEN
PARALLEL
ZUR
AUSBREITUNGSRICHTUNG
.
12
2.4
IMPEDANZ
VON
SCHMALEN,
DUENNEN,
SUPRALEITENDEN
LEITUNGEN:
EINFUEHRUNG
DER
EFFEKTIVEN
LEITERBREITE
.
15
2.5
TEMPERATURABHAENGIGKEIT
DES
VERHALTENS
VON
IDEALEN
SUPRALEITERN
.
16
2.6
HOCHFREQUENZVERHALTEN
VON
REALEN
SUPRALEITERN
.
18
3.
MESSVERFAHREN
UND
-AUFBAUTEN
.
26
3.1
MESSAUFBAU
ZUR
BESTIMMUNG
DER
OBERFLAECHENIMPEDANZ
.
26
3.1.1
BESTIMMUNG
DES
OBERFLAECHENWIDERSTANDES
AN
GANZFLAECHIGEN
SCHICHTEN
.
26
3.1.2
BESTIMMUNG
DER
EINDRINGTIEFE
AN
GANZFLAECHIGEN
SCHICHTEN
.
29
3.2
TIEFTEMPERATUR-MESSPLATZ
ZUR
CHARAKTERISIERUNG
VON
MIKROWELLENBAUELEMENTEN
.
30
4.
GANZFLAECHIGE
SCHICHTEN
AUS
YBACUO
.
33
4.1
DAS
STOECHIOMETRIE-DREIECK
.
33
4.2
AUSWAHL
DES
SUBSTRATMATERIALS
.
34
43
SCHICHTHERSTELLUNG
MITTELS
METASSORGANISCHER
GASPHASENABSCHEIDUNG
.
36
4.3.1
ZUVERLAESSIGKEIT
DES
MOCVD
VERFAHRENS
.
37
4.4
OPTIMIERUNG
DER
SCHICHTZUSAMMENSETZUNG
ZUR
ANWENDUNG
IN
DER
MIKROELEKTRONIK
.
38
4.4.1
OBERFLAECHENMORPHOLOGIE
DER
SCHICHTEN
.
38
4.4.2
OBERFLAECHENIMPEDANZ
DER
SCHICHTEN
.
42
4.4.3
BEWERTUNG
DER
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
SCHICHTQUALITAET
.
50
5.
STRUKTURIERUNG
UND
PROZESSIERUNG
ZUR
HERSTELLUNG
VON
BAUELEMENTEN
.
53
5.1
STANDARDPROZESS
ZUR
STRUKTURIERUNG
.
53
5.2
NASSCHEMISCHES
AETZEN
.
56
5.3
ARGON-IONENSTRAHL-AETZEN
.
58
5.4
ELEKTRISCHE
KONTAKTIERUNG
VON
YBACUO
.
59
53
GOLD-BRUECKEN-TECHNOLOGIE
AUF
YBACUO
.
61
5.6
PASSIVIERUNG
VON
YBACUO
.
64
5.6.1
WIRKSAMKEIT
DER
PASSIVIERUNG
.
64
5.6.2
EINFLUSS
DER
PASSIVIERUNGS-SCHICHTEN
AUF
MIKROWELLENBAUELEMENTE
.
66
6.
BESCHREIBUNG
UND
CHARAKTERISIERUNG
VON
BAUELEMENTEN
.
70
6.1
KOPLANARE
LEITUNGEN
UND
RESONATOREN
.
71
6.1.1
THEORETISCHE
BERECHNUNG
DES
DAEMPFUNGSMASSES
A
.
71
6.1.2
THEORETISCHE
BERECHNUNG
VON
PHASENMASS
SS
UND
WELLENWIDERSTAND
Z
L
.
72
6.1.3
EFFEKTIVE
LEITERBREITE
VON
SUPRALEITENDEN
KOPLANARLEITUNGEN
.
74
6.1.4.
BERECHNUNG
DER
LEITUNGSPARAMETER
AUS
MESSUNGEN
.
78
6.1.5.
DESIGN
DER
TESTSTRUKTUREN
.
79
6.1.6.
MESSERGEBNISSE
UND
DISKUSSION:
DAEMPFUNGSMASS
A
.
80
6.1.7.
MESSERGEBNISSE
UND
DISKUSSION:
WELLENWIDERSTAND
Z
L
UND
PHASENMASS
SS
.
85
6.1.8
VERGLEICH
VON
MESSUNGEN
AN
STRUKTURIERTEN
UND
UNSTRUKTURIERTEN
PROBEN
.
92
6.2
PLANARE
SPULEN
.
95
6.2.1
THEORETISCHE
BERECHNUNG
DER
ERSATZSCHALTBILD-ELEMENTE
VON
PLANAREN
SPULEN
.96
6.2.2
ERMITTLUNG
DER
ERSATZSCHALTBILD-ELEMENTE
VON
PLANAREN
SPULEN
AUS
MESSUNGEN
.
97
6.2.3
HERSTELLUNG
DER
PLANAREN
SPULEN
AUS
YBACUO
.
98
6.2.4
MESSERGEBNISSE
AN
PLANAREN
SPULEN
IM
FREQUENZBEREICH
.
99
6.2.5
MESSERGEBNISSE
AN
PLANAREN
SPULEN
IM
TEMPERATURBEREICH
.
101
6.2.6
EINFLUSS
EINES
GLEICHSTROMS
AUF
DIE
RESONANZFREQUENZ
EINER
PLANAREN
SPULE.
104
6.3
PLANARE
MIKROWELLEN-FILTER
.
106
7.
ZUSAMMENFASSUNG
.
112
8.
DANKSAGUNG
.114
9.
LITERATURHINWEISE
.
115
10.
ANHANG
.
125
A.
VERWENDETE
ABKUERZUNGEN
UND
SYMBOLE
.
125
B.
WICHTIGE
NATURKONSTANTEN
.
129
C.
TABELLARISCHE
AUFLISTUNG
DER
PROZESSSCHRITTE
ZUR
HERSTELLUNG
VON
YBACUO
UND
GOLD-STRUKTUREN
.
130
D.
BERECHNUNG
DES
GEOMETRIEFAKTORS
IM
HOHLRAUMRESONATOR
.
136
E.
ERMITTLUNG
DER
EINDRINGTIEFE
AUS
DER
RESONANZFREQUENZ
DES
HOHLRAUMRESONATORS
138
F.
STREUPARAMETER
EINER
PLANAREN
SPULE
.
140
G.
GLEICHUNGEN
ZUR
BERECHNUNG
DER
EFFEKTIVEN
LEITERBREITE
VON
KOPLANARLEITUNGEN.
141
11.
LEBENSLAUF.
.
142 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Waffenschmidt, Eberhard |
| author_facet | Waffenschmidt, Eberhard |
| author_role | aut |
| author_sort | Waffenschmidt, Eberhard |
| author_variant | e w ew |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010511260 |
| classification_rvk | ZN 5240 |
| classification_tum | ELT 225d |
| ctrlnum | (OCoLC)75668457 (DE-599)BVBBV010511260 |
| discipline | Elektrotechnik Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV010511260</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19961125</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">951127s1996 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">946149046</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3826511239</subfield><subfield code="c">kart. : DM 89.00</subfield><subfield code="9">3-8265-1123-9</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75668457</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010511260</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 5240</subfield><subfield code="0">(DE-625)157441:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 225d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Waffenschmidt, Eberhard</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Koplanare Mikrowellenbauelemente aus supraleitendem YBaCuO</subfield><subfield code="c">Eberhard Waffenschmidt</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Aachen</subfield><subfield code="b">Shaker</subfield><subfield code="c">1996</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">IV, 142 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Berichte aus der Elektrotechnik</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1995</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Cuprate</subfield><subfield code="0">(DE-588)4148399-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Bariumverbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4254994-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Supraleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4184140-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrowellenbauelement</subfield><subfield code="0">(DE-588)4123765-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Yttriumverbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4298749-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Yttriumverbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4298749-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Bariumverbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4254994-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Cuprate</subfield><subfield code="0">(DE-588)4148399-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Supraleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4184140-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Mikrowellenbauelement</subfield><subfield code="0">(DE-588)4123765-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007006431&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007006431</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010511260 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-16T00:33:19Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3826511239 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007006431 |
| oclc_num | 75668457 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-634 DE-11 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-634 DE-11 |
| physical | IV, 142 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1996 |
| publishDateSearch | 1996 |
| publishDateSort | 1996 |
| publisher | Shaker |
| record_format | marc |
| series2 | Berichte aus der Elektrotechnik |
| spelling | Waffenschmidt, Eberhard Verfasser aut Koplanare Mikrowellenbauelemente aus supraleitendem YBaCuO Eberhard Waffenschmidt Als Ms. gedr. Aachen Shaker 1996 IV, 142 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Berichte aus der Elektrotechnik Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1995 Cuprate (DE-588)4148399-6 gnd rswk-swf Bariumverbindungen (DE-588)4254994-2 gnd rswk-swf Supraleiter (DE-588)4184140-2 gnd rswk-swf Mikrowellenbauelement (DE-588)4123765-1 gnd rswk-swf Yttriumverbindungen (DE-588)4298749-0 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Yttriumverbindungen (DE-588)4298749-0 s Bariumverbindungen (DE-588)4254994-2 s Cuprate (DE-588)4148399-6 s Supraleiter (DE-588)4184140-2 s Mikrowellenbauelement (DE-588)4123765-1 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007006431&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Waffenschmidt, Eberhard Koplanare Mikrowellenbauelemente aus supraleitendem YBaCuO Cuprate (DE-588)4148399-6 gnd Bariumverbindungen (DE-588)4254994-2 gnd Supraleiter (DE-588)4184140-2 gnd Mikrowellenbauelement (DE-588)4123765-1 gnd Yttriumverbindungen (DE-588)4298749-0 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4148399-6 (DE-588)4254994-2 (DE-588)4184140-2 (DE-588)4123765-1 (DE-588)4298749-0 (DE-588)4113937-9 |
| title | Koplanare Mikrowellenbauelemente aus supraleitendem YBaCuO |
| title_auth | Koplanare Mikrowellenbauelemente aus supraleitendem YBaCuO |
| title_exact_search | Koplanare Mikrowellenbauelemente aus supraleitendem YBaCuO |
| title_full | Koplanare Mikrowellenbauelemente aus supraleitendem YBaCuO Eberhard Waffenschmidt |
| title_fullStr | Koplanare Mikrowellenbauelemente aus supraleitendem YBaCuO Eberhard Waffenschmidt |
| title_full_unstemmed | Koplanare Mikrowellenbauelemente aus supraleitendem YBaCuO Eberhard Waffenschmidt |
| title_short | Koplanare Mikrowellenbauelemente aus supraleitendem YBaCuO |
| title_sort | koplanare mikrowellenbauelemente aus supraleitendem ybacuo |
| topic | Cuprate (DE-588)4148399-6 gnd Bariumverbindungen (DE-588)4254994-2 gnd Supraleiter (DE-588)4184140-2 gnd Mikrowellenbauelement (DE-588)4123765-1 gnd Yttriumverbindungen (DE-588)4298749-0 gnd |
| topic_facet | Cuprate Bariumverbindungen Supraleiter Mikrowellenbauelement Yttriumverbindungen Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007006431&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT waffenschmidteberhard koplanaremikrowellenbauelementeaussupraleitendemybacuo |