Spektroskopische Untersuchung und Modellierung von mikrowellen-angeregten Silanplasmen:
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-5
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
.
-7
2
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
.
-8
2.1
DER
PLASMAREAKTOR
.
-8
2.2
OPTISCHE
EMISSIONSSPEKTROSKOPIE
.
-9
2.3
MASSENSPEKTROMETRIE
.
-10
2.4
MIKROWELLENINTERFEROMETRIE
.
-11
3
GRUNDLAGEN
.
-12
3.1
DAS
MIKROWELLEN-ANGEREGTE
SILANPLASMA
.
-12
3.1.1
KORONAMODELL
.
-12
3.1.2
VERTEILUNGSFUNKTION
UND
RATENKOEFFIZIENTEN
.
-14
3.1.3
ZERFALLSKETTE
DES
SILANMOLEKUELS
.
-15
3.1.4
ZUGAENGLICHE
DISSOZIATIONSPRODUKTE
FUER
DIE
EMISSIONSSPEKTROSKOPIE
-16
3.2
THEORIE
ZWEIATOMIGER
MOLEKUELE
.
-17
3.3
BERECHNUNG
DES
SIH
A-X
SPEKTRUMS
.
-20
3.4
DAS
H
2
-MOLEKUEL
.
-25
3.4.1
DAS
H
2
-SPEKTRUM
.
-25
3.4.2
DAS
FULCHERSYSTEM:
D
3
II
U
-
A
.
-26
3.4.3
DER
SINGULETTUEBERGANG
G
'
S*
-
B
.
-27
4
DIAGNOSTIKMETHODEN
.
-28
4.1
EMISSIONSSPEKTROSKOPIE
ZUR
BESTIMMUNG
DER
PLASMAPARAMETER
.
-28
4.1.1
ALLGEMEINES
ZUR
SPEKTROSKOPIE
.
-28
4.1.2
GASTEMPERATUR
.
-29
4.1.3
ELEKTRONENTEMPERATUR
.
-29
4.1.4
ROTATIONSTEMPERATUR
UND
VIBRATIONSTEMPERATUR
.
-31
4.2
MIKROWELLENINTERFEROMETRIE
ZUR
ELEKTRONENDICHTEBESTIMMUNG
.
-32
4.3
EMISSIONSSPEKTROSKOPIE
ZUR
RADIKALDICHTEBESTIMMUNG
.
-33
4.3.1
DISSOZIATIVE
ELEKTRONENSTOSSANREGUNG
.
-33
4.3.2
DIE
TEILCHENDICHTEN
VON
SIH,
SI,
H
2
UND
H
.
-35
4.4
MASSENSPEKTROMETRIE
ZUR
TEILCHENDICHTEBESTIMMUNG
VON
H
2
,
SIH
4
UND
SI
2
H
6
.
-41
5
MODELLIERUNG
DER
SILANPLASMEN
.
-43
5.1
BERUECKSICHTIGTE
REAKTIONEN
.
-43
-6
5.1.1
ELEKTRONENSTOSSREAKTIONEN
.
-44
5.1.2
SCHWERTEILCHENSTOESSE
.
-45
5.1.3
ENTSTEHUNG
VON
HOEHEREN
SILANEN
.
-45
5.2
ZUSAMMENSTELLUNG
DER
BERUECKSICHTIGTEN
REAKTIONEN
.
-46
5.3
MISCHUNGEN
MIT
EDELGASEN
.
-49
5.4
EINSCHLUSSZEITEN
.
-51
5.5
BILANZGLEICHUNGEN
.
-55
6
ERGEBNISSE
.
-56
6.1
ELEKTRONENDICHTE
.
-56
6.2
GASTEMPERATUR
.
-56
6.3
ELEKTRONENTEMPERATUR
.
-57
6.4
ROTATIONSTEMPERATUR
UND
VIBRATIONSTEMPERATUR
.
-58
6.5
VERGLEICH
VON
MASSENSPEKTROMETRIE
UND
MODELL
.
-60
6.5.1
ZUSAMMENSTELLUNG
DER
ERGEBNISSE
.
-60
6.5.2
DIE
VERARMUNG
DES
SILANS
.
-63
6.5.3
DIE
ENTSTEHUNG
VON
H
2
.
-63
6.5.4
DIE
BILDUNG
VON
DISILAN
.
-63
6.5.5
ABHAENGIGKEIT
DER
TEILCHENDICHTEN
IN
SILANPLASMEN
VOM
GASZUFLUSS
-63
6.6
ERGEBNISSE
DER
EMISSIONSSPEKTROSKOPIE
IM
VERGLEICH
MIT
DER
MODELLIERUNG
-65
6.6.1
ZUSAMMENSTELLUNG
DER
ERGEBNISSE
.
-65
6.6.2
DIE
TEILCHENDICHTEN
VON
SIH
UND
SI
.
-72
6.6.3
DIE
WASSERSTOFFDICHTEN
H
UND
H
2
.
-74
6.6.4
RADIKALTEILCHENDICHTEN
AUS
DER
MODELLIERUNG
.
-77
6.6.5
LONENZUSAMMENSETZUNG
.
-79
7
DISKUSSION
.
-81
LITERATURVERZEICHNIS
.
-87
LISTE
DER
VERWENDETEN
FORMELZEICHEN
.
-92 |
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