(1995). Mikrosystemtechnik: Chemnitz '95 ; Mikromechanik & Mikroelektronik ; 16. - 17. Oktober 1995, Chemnitz.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Mikrosystemtechnik: Chemnitz '95 ; Mikromechanik & Mikroelektronik ; 16. - 17. Oktober 1995, Chemnitz. Chemnitz, 1995.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Mikrosystemtechnik: Chemnitz '95 ; Mikromechanik & Mikroelektronik ; 16. - 17. Oktober 1995, Chemnitz. 1995.
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