Eine neue Methode zur Kalibrierung von Dünnschicht-Messwiderständen:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1995
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| Beschreibung: | Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 1995 |
| Beschreibung: | 83 Bl. Ill., graph. Darst. |
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INHALTSVERZEICHNIS
VERZEICHNIS DER VERWENDETEN FORMELZEICHEN 6
1 VORBETRACHTUNGEN 8
1.1 EINLEITUNG. 8
1.2 BEKANNTE VERFAHREN ZUR KALIBRIERUNG. 8
1.2.1 KALIBRIEREN AN FIXPUNKTEN. 9
1.2.2 KALIBRIEREN NACH DER VERGLEICHSMETHODE. 9
2 EIN NEUES PRINZIP ZUR KALIBRIERUNG- 11
2.1 GRUNDANSATZ EINES NEUEN VERFAHRENS . 11
2.2 MOEGLICHKEITEN ZUR TEMPERIERUNG. 13
2.2.1 DIE EIGENERWAERMUNG BEI ERHOEHTEM MESSSTROM. 13
2.2.2 TEMPERIERUNG DURCH STRAHLUNG. . 14
2.3 PRINZIPIELLE MOEGLICHKEITEN ZUR TEMPERATURMESSUNG. 16
2.3.1 TEMPERATURMESSUNG MIT RAUSCHTHERMOMETERN. 16
2.3.2 TEMPERATURMESSUNG MIT STRAHLUNGSPYROMETERN. 17
2.4 KONZEPT DER MESSEINRICHTUNG ZUM TEST DER NEUEN KALIBRIERMETHODE 19
2.5 REALISIERUNG EINER TEST-KALIBRIEREINRICHTUNG. 21
2.5.1 BESCHREIBUNG DER PRUEFLINGE. 21
2.5.2 ELEKTRISCHE MESSTECHNIK. 25
2.5.3 AUSWAHL EINES GEEIGNETEN PYROMETERS. 26
2.5.4 MASSNAHMEN ZUR VERBESSERUNG DER PYROMETRISCHEN TEMPE
RATURMESSUNG . 31
2.5.5 EIN EINFACHER POSITIONIERALGORITHMUS . 33
2.5.6 REGELUNG DES WIDERSTANDSWERTES . 36
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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3 GESTALTUNG DER VORVERSUCHE UND ERGEBNISSE 40
3.1 MESSUNGEN ZUR TEMPERIERUNG. 40
3.2 VERSUCH ZUR PYROMETRISCHEN MESSUNG DER PRUEFLINGSTEMPERATUR . . 43
3.3 VERSUCH ZUR REPRODUZIERBARKEIT DER PYROMETRISCHEN MESSUNG . 46
3.4 ZUSAMMENFASSUNG DER ERGEBNISSE DER VORVERSUCHE. 48
4 DIE TEMPERATURVERTEILUNG AUF DEM PRUEFLING 49
4.1 MESSUNG DER TEMPERATURVERTEILUNG. 49
4.2 BERECHNUNG DER TEMPERATURVERTEILUNG MIT DER METHODE DER FI
NITEN ELEMENTE (FEM).^. 53
5 KALIBRIERUNG MIT PYROMETRISCHER VERGLEICHSMESSUNG 56
5.1 VORBETRACHTUNGEN. 56
5.2 BEISPIEL ZUR BESTI
MMUNG DER KALIBRIERWERTE. 56
5.3 KALIBRIERUNG / KLASSENEINTEILUNG MIT PYROMETRISCHER VERGLEICHS
MESSUNG . 58
5.4 ANSATZ ZUR BESCHREIBUNG DES MESSFEHLERS. 59
5.5 MODIFIZIERUNG DER MESSEINRICHTUNG. 61
5.6 MESSABLAUF ZUR VERGLEICHSMESSUNG. 62
5.7 AUSWERTUNG DER ERGEBNISSE. 64
5.8 ZUSAMMENFASSUNG DER AUSFUEHRUNGEN ZUR VERGLEICHSMESSUNG . 67
6 BEWERTUNG DER ERGEBNISSE UND AUSBLICK 68
A ANHANG 71
LITERATURVERZEICHNIS 76
ABBILDUNGSVERZEICHNIS 80
TABELLENVERZEICHNIS
82 |
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