Miniaturisiertes Spektrometersystem in LIGA-Technik:
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Karlsruhe
Forschungszentrum Karlsruhe
1995
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INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
.
1
2.
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
FUER
EIN
REFLEXIONSGITTER
.
5
2.1
REFLEXIONSGITTER
ALS
DIFFRAKTIVE
ELEMENTE
.
5
2.2
"FREIER
SPEKTRALBEREICH"
.
6
2.3
AUFLOESUNG
EINES
GITTERS
.
7
2.4
"BLAZE"-GITTER
.
10
2.5
"ROWLAND-KREIS"
ANORDNUNG
.
13
2.6
SCHEMATISCHER
AUFBAU
DES
LIGA-GITTERSPEKTROGRAPHEN
.
14
3.
PROZESSOPTIMIERUNGEN
UND
PROZESSWEITERENTWICKLUNGEN
.
18
3.1.
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
STRUKTURQUALITAET
DER
MASKE
BEI
DER
ELEKTRONENSTRAHLLITHOGRAPHIE
.
21
3.2.
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
STRUKTURQUALITAET
BEI
DER
ROENTGENTIEFENLITHOGRAPHIE
.
26
3.3
STRUKTURIEREN
EINER
45
KANTE
.
28
3.4
HERSTELLUNG
DER
SPEKTROMETER
DURCH
ABFORMUNG
.
28
3.4.1
HERSTELLUNG
DES
ABFORMWERKZEUGES
.
28
3.4.2
ABFORMUNG
VON
LICHTLEITENDEN
SPEKTROMETERBAUSTEINEN
.
29
3.5
MATERIALEIGENSCHAFTEN
DER
LICHTLEITENDEN
SCHICHTEN
UND
REFLEKTIVITAET
DER
SPUTTERSCHICHTEN
.
32
4.
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNGEN
.
36
4.1
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
ZUR
CHARAKTERISIERUNG
DER
BAUSTEINE
.
38
4.2
MESSUNGEN
MIT
HILFE
EINER
DIODENZEILE
.
43
4.3
SPEKTRALE
AUFLOESUNG
DER
BAUSTEINE
BEI
MESSUNG
MIT
EINER
DIODENZEILE
.
44
5.
SPEKTROMETERSYSTEM
.
50
5.1
WEISSLICHTQUELLE
.
51
5.1.1
STANDARDLICHTQUELLEN
.
52
5.1.2
MINI-HALOGENLAMPE
.
53
5.2
GITTERSPEKTROMETER
.
54
5.3
PHOTODIODENZEILE
.
57
5.3.1
SPEKTRALE
EMPFINDLICHKEIT
DER
PHOTODIODENZEILE
.
57
5.3.2
RAUSCHEN
DER
DIODENZEILE
.
58
II
5.4
CHARAKTERISTIK
DES
SYSTEMS
.
59
5.4.1
DYNAMIK
DES
SYSTEMS
.
59
5.4.2
NACHWEISBARE
EXTINKTION
.
62
5.4.2.1
MINIMALE
EXTINKTION
.
62
5.4.2.2
MAXIMALE
EXTINKTION
.
63
6.
ANWENDUNGSBEISPIELE
FUER
DAS
MIKROSYSTEM
.
65
6.1
TRANSMISSIONSMESSUNGEN
.
65
6.1.1
INDIREKTE
MESSUNG
VON
SUBSTANZEN
MIT
HILFE
VON
OPTOCHEMISCHEN
SENSOREN
.
66
6.1.2
DIREKTE
MESSUNG
DER
SUBSTANZEN
MIT
HILFE
EINER
TRANSMISSIONSKUEVETTE
.
67
6.2
REFLEXIONSMESSUNG
.
72
6.3
SELBSTLEUCHTENDE
MESSOBJEKTE
.
74
7.
ZUSAMMENFASSUNG
UND
DISKUSSION
.
76
8.
LITERATURVERZEICHNIS
.
81 |
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