MOS-Transistoren kleiner Geometrien: Technologie, elektrische Eigenschaften und Lichtemission
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INHALTSVERZEICHNIS
SEITE
LISTE
DER
VERWENDETEN
FORMELZEICHEN
5
1
EINLEITUNG
7
2
HALBLEITERTECHNOLOGIE
FUER
KLEINE
GEOMETRIEN
8
2.1
FOTOTECHNIK
10
2.2
LOKALE
OXIDATIONSTECHNIK
12
2.3
STRUKTURIERUNG
DER
POLYSILIZIUMEBENE
14
2.4
SIDEWALL-SPACER-TECHNIK
15
2.5
SELBSTJUSTIERENDE
KONTAKTE
18
2.6
DEFINIERTES
LACKSCHRUMPFEN
FUER
SUBMIKROMETERSTRUKTUREN
20
3
MOS-TRANSISTOREN
KLEINER
GEOMETRIEN
24
3.1
EFFEKTIVE
KANALLAENGE
VON
MOS-TRANSISTOREN
24
3.1.1
RECHNERUNTERSTUETZTE
PARAMETEREXTRAJDION
28
3.1.2
GATEANSTEUERUNGSMETHODE
29
3.1.3
SUBSTRATANSTEUERUNGSMETHODE
31
3.1.4
STEILHEITSMETHODE
32
3.1.5
VERGLEICH
DER
METHODEN
UND
ALTERNATIVE
ANSAETZE
34
3.2
NMOS-STANDARD
UND
NMOS-LDD-TRANSISTOREN
38
3.2.1
"U
TH
-FALLOFF
38
3.2.2
"PUNCH-THROUGH"-EFFEKT
39
3.2.3
STOSSIONISATION,
LAWINENDURCHBRUCH
UND
"HEISSE
ELEKTRONEN"
41
3.2.4
AUSWIRKUNGEN
DES
"LDD-DESIGNS"
47
3.3
TRANSISTOREN
KLEINSTER
ABMESSUNGEN
57
3.4
NMOS-TRANSISTOREN
BEI
TIEFEN
TEMPERATUREN
62
3.4.1
EINFLUSS
DER
TEMPERATUR
AUF
DIE
ELEKTRISCHE
LEITFAEHIGKEIT
VON
HALBLEITERN
63
3.4.2
VERSUCHSAUFBAU
65
3.4.3
TEMPERATURABHAENGIGKEITEN
DER
TRANSISTORKENNGROESSEN
66
3.5
STANDARD
UND
MODIFIZIERTE
PMOS-OFFSET-TRANSISTOREN
75
3.5.1
STANDARD-PMOS-TRANSISTOR
75
3.5.2
MODIFIZIERTER
PMOS-OFFSET-TRANSISTOR
77
3.6
MOS-TRANSISTOREN
MIT
DUENNEM
GATEOXID
80
4
LICHTEMISSION
VON
MOS-TRANSISTOREN
86
4.1
MESSAUFBAU
87
4.2
STATISCHE
MESSUNGEN
DER
LICHTEMISSION
88
4.2.1
NMOS-STANDARD
UND
NMOS-LDD-TRANSISTOREN
88
4.2.2
PMOS-TRANSISTOREN
94
4.2.3
KORRELATIONEN
ZUM
HOT-ELECTRON-EFFEKT
95
4.2.4
TRANSISTOREN
UNTERSCHIEDLICHER
KANALLAENGE
101
4.2.5
SIMULATION
DER
ARBEITSPUNKTABHAENGIGEN
LICHTEMISSION
103
4.3
SCHALT
UND
FREQUENZVERHALTEN
DER
LICHTEMISSION
108
4.3.1
MESSAUFBAU
108
4.3.2
MODULATION
DER
GATESPANNUNG
109
4.3.3
MODULATION
DER
DRAINSPANNUNG
113
4.3.4
FREQUENZABHAENGIGKEIT
DES
LEUCHTEFFEKTS
114
4.3.5
LEISTUNGSAUFNAHME
UNTERSCHIEDLICHER
MODULATIONSARTEN
117
4.3.6
DYNAMISCHE
UNTERSUCHUNG
DES
LICHTEMISSIONSSPEKTRUMS
119
4.4
LICHTAUSBEUTE
120
5
ZUSAMMENFASSUNG
125
6
LITERATURVERZEICHNIS
127
LEBENSLAUF
133
DANKSAGUNG
134 |
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