Technologie und optische Spektroskopie zu InGaAs-InP-Quantendrähten:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
1995
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Berichte aus der Halbleitertechnik
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INHALTSVERZEICHNIS
1
ZUSAMMENFASSUNG
1
2
EINLEITUNG
5
3
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
9
3.1
DAS
MATERIALSYSTEM
INO.S3GAO.4RAS/INP
.
9
3.2
ELEKTRONISCHE
UND
OPTISCHE
EIGENSCHAFTEN
VON
QUASI-EINDIMENSIONALEN
HALBLEITERSTRUKTUREN
.
11
3.2.1
LATERALE
SUBBANDSTRUKTUR
.
11
3.2.2
OPTISCHE
UEBERGAENGE
UND
ZUSTANDSDICHTE
.
16
3.3
ENERGIENIVEAUS
VON
QUASI-EINDIMENSIONALEN
HALBLEITERSTRUKTUREN
IM
EXTER
NEN
MAGNETFELD
.
19
4
EXPERIMENTELLE
UND
TECHNOLOGISCHE
GRUNDLAGEN
24
4.1
VERFAHREN
ZUR
LATERALEN
STRUKTURIERUNG
.
24
4.2
ELEMENTARE
ANFORDERUNGEN
AN
LATERALE
QUANTENSTRUKTUREN
FUER
OPTISCHE
AN
WENDUNGEN
.
26
4.3
ELEKTRONENSTRAHLLITHOGRAPHIE
.
27
4.4
TECHNOLOGIE
ZUR
HERSTELLUNG
VON
ULTRASCHMALEN
HALBLEITERDRAHTSTRUKTUREN
.
31
4.4.1
UEBERBLICK
UEBER
DIE
PROZESSSCHRITTE
.
31
4.4.2
PROBENPRAEPARATION
.
32
4.4.3
ELEKTRONENSTRAHLLITHOGRAPHIE
MIT
DEM
TRANSMISSIONSELEKTRONENMI
KROSKOP
.
33
4.4.4
DEFINITION
DER
ATZMASKE
.
34
4.4.5
NASSCHEMISCHES
ATZEN
.
36
4.5
PHOTOLUMINESZENZ-SPEKTROSKOPIE
.
38
5
LATERALE
QUANTISIERUNGSEFFEKTE
IN
IN
O
.S3GAO.4
7
AS/INP-QUANTENDRAEHTEN
41
5.1
PHOTOLUMINESZENZ-UNTERSUCHUNGEN
BEI
NIEDRIGER
ANREGUNGSDICHTE
.
41
5.1.1
PHOTOLUMINESZENZ-SPEKTREN
.
41
5.1.2
DRAHTBREITENABHAENGIGKEIT
DER
LUMINESZENZAUSBEUTE
.
46
INHALTSVERZEICHNIS
II
5.1.3
ZEITAUFGELOESTE
PHOTOLUMINESZENZ-UNTERSUCHUNGEN
.
50
5.1.4
EINFLUSS
VON
DRAHTBREITENFLUKTUATIONEN
.
53
5.2
LATERALE
QUANTISIERUNGSEFFEKTE
UNTER
HOHER
ANREGUNG
.
56
5.2.1
PHOTOLUMINESZENZ-SPEKTREN
.
57
5.2.2
DRAHTBREITENABHAENGIGKEIT
DER
LATERALEN
QUANTISIERUNGSENERGIEN
.
60
5.2.3
LINIENFORMANALYSE
DER
PLASMA-SPEKTREN
.
64
5.3
MAGNETOLUMINESZENZ-UNTERSUCHUNGEN
.
72
6
POLARISATIONSEFFEKTE
77
6.1
ALLGEMEINES
.
77
6.2
POLARISATIONSABHAENGIGKEIT
DER
PHOTOLUMINESZENZ-EMISSION
.
78
6.3
DRAHTBREITENABHAENGIGKEIT
DES
POLARISATIONSGRADES
DER
LUMINESZENZ
.
81
6.4
THEORETISCHE
BETRACHTUNG
.
83
7
ABSCHLIESSENDE
BEMERKUNGEN
90
A
MATERIALPARAMETER
UND
PROBENAUFBAU
91
BILDERVERZEICHNIS
103 |
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