Spektroskopische und röntgenographische Untersuchungen von Randzonenstörungen oberflächenbearbeiteter Silizium-Wafer:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Microfilm Book |
| Language: | German |
| Published: |
1994 [erschienen] 1995
|
| Edition: | [Mikrofiche-Ausg.] |
| Subjects: | |
| Physical Description: | 79 S. Ill., graph. Darst. |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010173773 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20170720 | ||
| 007 | he|bmb024bbcu | ||
| 008 | 950503s1995 gw ad|| bm||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 944042333 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)64523269 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010173773 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-11 |a DE-188 | ||
| 084 | |a ELT 072d |2 stub | ||
| 084 | |a WER 320d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Verhey, Janko Frerk |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Spektroskopische und röntgenographische Untersuchungen von Randzonenstörungen oberflächenbearbeiteter Silizium-Wafer |c von Janko Frerk Verhey |
| 250 | |a [Mikrofiche-Ausg.] | ||
| 264 | 1 | |c 1994 [erschienen] 1995 | |
| 300 | |a 79 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b h |2 rdamedia | ||
| 338 | |b he |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Hannover, Univ., Diss., 1995 | ||
| 533 | |a Mikroform-Ausgabe |n Mikrofiche-Ausg.: |e 1 Mikrofiche : 24x | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Wafer |0 (DE-588)4294605-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Gitterbaufehler |0 (DE-588)4125030-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Oberflächenbehandlung |0 (DE-588)4042908-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Wafer |0 (DE-588)4294605-0 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Oberflächenbehandlung |0 (DE-588)4042908-8 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Gitterbaufehler |0 (DE-588)4125030-8 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 776 | 0 | 8 | |i Reproduktion von |a Verhey, Janko Frerk |t Spektroskopische und röntgenographische Untersuchungen von Randzonenstörungen oberflächenbearbeiteter Silizium-Wafer |d 1994 [erschienen] 1995 |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006757372 | ||
Record in the Search Index
| _version_ | 1804124571153989632 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Verhey, Janko Frerk |
| author_facet | Verhey, Janko Frerk |
| author_role | aut |
| author_sort | Verhey, Janko Frerk |
| author_variant | j f v jf jfv |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010173773 |
| classification_tum | ELT 072d WER 320d |
| ctrlnum | (OCoLC)64523269 (DE-599)BVBBV010173773 |
| discipline | Werkstoffwissenschaften Elektrotechnik |
| edition | [Mikrofiche-Ausg.] |
| format | Thesis Microfilm Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01797nam a2200457 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV010173773</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20170720 </controlfield><controlfield tag="007">he|bmb024bbcu</controlfield><controlfield tag="008">950503s1995 gw ad|| bm||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">944042333</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)64523269</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010173773</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 072d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">WER 320d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Verhey, Janko Frerk</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Spektroskopische und röntgenographische Untersuchungen von Randzonenstörungen oberflächenbearbeiteter Silizium-Wafer</subfield><subfield code="c">von Janko Frerk Verhey</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">[Mikrofiche-Ausg.]</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1994 [erschienen] 1995</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">79 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">h</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">he</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Hannover, Univ., Diss., 1995</subfield></datafield><datafield tag="533" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Mikroform-Ausgabe</subfield><subfield code="n">Mikrofiche-Ausg.:</subfield><subfield code="e">1 Mikrofiche : 24x</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Wafer</subfield><subfield code="0">(DE-588)4294605-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Gitterbaufehler</subfield><subfield code="0">(DE-588)4125030-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Oberflächenbehandlung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4042908-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Wafer</subfield><subfield code="0">(DE-588)4294605-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Oberflächenbehandlung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4042908-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Gitterbaufehler</subfield><subfield code="0">(DE-588)4125030-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="776" ind1="0" ind2="8"><subfield code="i">Reproduktion von</subfield><subfield code="a">Verhey, Janko Frerk</subfield><subfield code="t">Spektroskopische und röntgenographische Untersuchungen von Randzonenstörungen oberflächenbearbeiteter Silizium-Wafer</subfield><subfield code="d">1994 [erschienen] 1995</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006757372</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010173773 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:47:47Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006757372 |
| oclc_num | 64523269 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-11 DE-188 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-11 DE-188 |
| physical | 79 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1994 |
| publishDateSearch | 1995 |
| publishDateSort | 1995 |
| record_format | marc |
| spelling | Verhey, Janko Frerk Verfasser aut Spektroskopische und röntgenographische Untersuchungen von Randzonenstörungen oberflächenbearbeiteter Silizium-Wafer von Janko Frerk Verhey [Mikrofiche-Ausg.] 1994 [erschienen] 1995 79 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent h rdamedia he rdacarrier Hannover, Univ., Diss., 1995 Mikroform-Ausgabe Mikrofiche-Ausg.: 1 Mikrofiche : 24x Wafer (DE-588)4294605-0 gnd rswk-swf Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Gitterbaufehler (DE-588)4125030-8 gnd rswk-swf Oberflächenbehandlung (DE-588)4042908-8 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Silicium (DE-588)4077445-4 s Wafer (DE-588)4294605-0 s Oberflächenbehandlung (DE-588)4042908-8 s Gitterbaufehler (DE-588)4125030-8 s DE-604 Reproduktion von Verhey, Janko Frerk Spektroskopische und röntgenographische Untersuchungen von Randzonenstörungen oberflächenbearbeiteter Silizium-Wafer 1994 [erschienen] 1995 |
| spellingShingle | Verhey, Janko Frerk Spektroskopische und röntgenographische Untersuchungen von Randzonenstörungen oberflächenbearbeiteter Silizium-Wafer Wafer (DE-588)4294605-0 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Gitterbaufehler (DE-588)4125030-8 gnd Oberflächenbehandlung (DE-588)4042908-8 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4294605-0 (DE-588)4077445-4 (DE-588)4125030-8 (DE-588)4042908-8 (DE-588)4113937-9 |
| title | Spektroskopische und röntgenographische Untersuchungen von Randzonenstörungen oberflächenbearbeiteter Silizium-Wafer |
| title_auth | Spektroskopische und röntgenographische Untersuchungen von Randzonenstörungen oberflächenbearbeiteter Silizium-Wafer |
| title_exact_search | Spektroskopische und röntgenographische Untersuchungen von Randzonenstörungen oberflächenbearbeiteter Silizium-Wafer |
| title_full | Spektroskopische und röntgenographische Untersuchungen von Randzonenstörungen oberflächenbearbeiteter Silizium-Wafer von Janko Frerk Verhey |
| title_fullStr | Spektroskopische und röntgenographische Untersuchungen von Randzonenstörungen oberflächenbearbeiteter Silizium-Wafer von Janko Frerk Verhey |
| title_full_unstemmed | Spektroskopische und röntgenographische Untersuchungen von Randzonenstörungen oberflächenbearbeiteter Silizium-Wafer von Janko Frerk Verhey |
| title_short | Spektroskopische und röntgenographische Untersuchungen von Randzonenstörungen oberflächenbearbeiteter Silizium-Wafer |
| title_sort | spektroskopische und rontgenographische untersuchungen von randzonenstorungen oberflachenbearbeiteter silizium wafer |
| topic | Wafer (DE-588)4294605-0 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Gitterbaufehler (DE-588)4125030-8 gnd Oberflächenbehandlung (DE-588)4042908-8 gnd |
| topic_facet | Wafer Silicium Gitterbaufehler Oberflächenbehandlung Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT verheyjankofrerk spektroskopischeundrontgenographischeuntersuchungenvonrandzonenstorungenoberflachenbearbeitetersiliziumwafer |