Plasmaprozesse und ihre Auswirkungen auf die CVD-Diamantabscheidung:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
1994
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Item Description: | Hamburg, Univ., Diss., 1995 |
| Physical Description: | IV, 199 S. Ill., graph. Darst. |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010173674 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19951124 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 950503s1994 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 943956358 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)64523240 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010173674 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-29T |a DE-12 |a DE-355 |a DE-11 | ||
| 084 | |a ELT 280d |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 803d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Joeris, Pierre |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Plasmaprozesse und ihre Auswirkungen auf die CVD-Diamantabscheidung |c vorgelegt von Pierre Joeris |
| 264 | 1 | |c 1994 | |
| 300 | |a IV, 199 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Hamburg, Univ., Diss., 1995 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a PECVD-Verfahren |0 (DE-588)4267316-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Diamant |0 (DE-588)4012069-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Phasendiagramm |0 (DE-588)4174149-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Diamant |0 (DE-588)4012069-7 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a PECVD-Verfahren |0 (DE-588)4267316-1 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Phasendiagramm |0 (DE-588)4174149-3 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006757322&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006757322 | |
Record in the Search Index
| _version_ | 1807684137387032576 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
.
1
1.1
DIE
MODIFIKATIONEN
DES
KOHLENSTOFFS
.
4
1.2
METHODEN
DER
DIAMANTHERSTELLUNG
.
6
1.2.1
THERMOCHEMISCHE
CVD-METHODEN
.
9
1.2.2
PLASMA-CVD-METHODEN
.
11
2.
GRUNDLAGEN
DER
CVD-DIAMANTSCHICHTDEPOSITION
.
13
2.1
KEIMBILDUNG
.
13
2.2
KINETIK
DES
SCHICHTWACHSTUMS
.
19
2.2.1
DIE
DIAMANTOBERFLAECHE
.
19
2.2.2
WACHSTUMSSPEZIES
METHYLGRUPPEN
.
21
2.23
WACHSTUMSSPEZIES
ETHINMOLEKUELE
.
24
2.2.4
VERGLEICH
DER
MODELLE
.
28
2.3
TERNAERES
DIAGRAMM
NACH
BACHMANN
.
31
2.4
ANSAETZE
FUER
MODELLIERUNGSRECHNUNGEN
.
33
3.
KONZEPTION
DER
EXPERIMENTE
.
39
3.1
EINLEITUNG
.
39
3.2
VERSUCHSPARAMETER
.
41
4.
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
.
43
4.1
DIE
MIKROWELLEN-PLASMA-ANLAGE
.
43
4.2
DAS
MIKROWELLENPLASMA
.
47
5.
GASPHASENUNTERSUCHUNGEN
.
51
5.1
MASSENSPEKTROSKOPIE
.
51
5.1.1
GRUNDLAGEN
.
52
5.12
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
.
53
5.13
KALIBRIERUNG
DES
QMS
.
54
5.1.4
MESSUNGEN
.
57
5.1.4.1
WASSERSTOFF/METHAN
.
59
UE
INHALTSVERZEICHNIS
5.1.42
WASSERSTOFF/METHAN/SAUERSTOFF
.
61
5.1.43
WASSERSTOFF/ETHIN
.
62
5.1.4.4
WASSERSTOFF/ETHIN/SAUERSTOFF
.
64
5.1.4.5
ARGON/METHAN
.
65
5.1.4.6
ARGON/METHAN/SAUERSTOFF
.
66
5.1.4.7
ARGON/ETHIN/SAUERSTOFF
.
68
5.1.4.8
ARGON/METHAN/KOHLENDIOXID
.
69
5.1.5
ZUSAMMENFASSUNG
DER
MASSENSPEKTROSKOPISCHEN
ERGEBNISSE
.
.
71
5.2
EMISSIONSSPEKTROSKOPIE
.
73
5.2.1
APPARATIVES
.
73
5.22
GRUNDLAGEN
.
73
5.23
MESSUNGEN
.
78
52.3.1
WASSERSTOFF/METHAN
.
79
5.2.32
WASSERSTOFF/METHAN/
SAUERSTOFF
.
81
52.33
WASSERSTOFF/ETHIN
.
83
52.3.4
WASSERSTOFF/ETHIN/SAUERSTOFF
.
85
5.23.5
ARGON/METHAN
.
86
52.3.6
ARGON/METHAN/SAUERSTOFF
.
88
52.3.7
ARGON/ETHIN/SAUERSTOFF
.
89
52.3.8
ARGON/METHAN/KOHLENDIOXID
.
91
5.2.4
ZUSAMMENFASSUNG
DER
EMISSIONSMESSUNGEN
.
93
5.3
VERGLEICH
DER
GASPHASENMESSUNGEN
.
95
6.
MODELLIERUNG
DER
GASPHASE
.
101
6.1
GRUNDLAGEN
.
101
6.2
MODELLRECHNUNGEN
.
104
6.2.1
WASSERSTOFF/METHAN
.
104
6.22
ARGON/METHAN
.
106
6.23
WASSERSTOFF/METHAN/SAUERSTOFF
.
106
6.2.4
ARGON/METHAN/SAUERSTOFF
.
108
6.25
ARGON/ETHIN/SAUERSTOFF
.
110
6.2.6
ARGON/METHAN/KOHLENDIOXID
.
111
6.2.7
ZUSAMMENFASSUNG
.
113
INHALTSVERZEICHNIS
UEI
7.
SCHICHTCHARAKTERISIERUNG
.
117
7.1
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
117
7.1.1
EINLEITUNG
.
118
7.12
ERGEBNISSE
.
120
7.1.2.1
WASSERSTOFF/METHAN
.
120
7.1.2.2
WASSERSTOFF/METHAN/SAUERSTOFF
.
122
7.1.23
WASSERSTOFF/ETHIN
.
122
7.1.2.4
WASSERSTOFF/ETHIN/SAUERSTOFF
.
123
7.1.2.5
ARGON/METHAN/SAUERSTOFF
.
125
7.1.2.6
ARGON/ETHIN/SAUERSTOFF
.
126
7.1.2.7
ARGON/METHAN/KOHLENDIOXID
.
126
7.13
ZUSAMMENFASSUNG
.
126
7.2
RASTER-KRAFT-MIKROSKOPIE
.
129
73
TRANSMISSIONS-ELEKTRONEN-MIKROSKOPIE
.
131
7.4
RAMANSPEKTROSKOPIE
.
133
7.4.1
GRUNDLAGEN
.
134
7.42
DAS
RAMANSPEKTRUM
VON
KOHLENSTOFF
.
140
7.4.2.1
ERSTE
ORDNUNG
.
140
7.422
ZWEITE
ORDNUNG
.
142
7.43
ERGEBNISSE
DER
MESSUNGEN
.
143
7.43.1
WASSERSTOFF/METHAN
.
144
7.43.2
WASSERSTOFF/METHAN/SAUERSTOFF
.
145
7.4.33
WASSERSTOFF/ETHIN
.
147
7.43.4
WASSERSTOFF/ETHIN/SAUERSTOFF
.
149
7.4.35
WASSERSTOFF/KOHLENMONOXID
.
151
7.43.6
ARGON/METHAN/SAUERSTOFF
.
152
7.43.7
ARGON/ETHIN/SAUERSTOFF
.
154
7.43.8
ARGON/METHAN/KOHLENDIOXID
.
155
7.43.9
ARGON/KOHLENMONOXID
.
156
7.4.4
DISKUSSION
DER
RAMANMESSUNGEN
.
157
7.5
PHOTOLUMINESZENZSPEKTROSKOPIE
.
160
7.5.1
GRUNDLAGEN
.
160
7.5.2
ERGEBNISSE
DER
PHOTOLUMINESZENZMESSUNGEN
.
163
IV
INHALTSVERZEICHNIS
75.2.1
WASSERSTOFF/METHAN
.
164
75.2.2
WASSERSTOFF/METHAN/SAUERSTOFF
.
166
75.23
WASSERSTOFF/ETHIN
.
167
75.2.4
WASSERSTOFF/ETHIN/SAUERSTOFF
.
169
75.25
ARGON/METHAN/SAUERSTOFF
.
171
75.2.6
ARGON/ETHIN/SAUERSTOFF
.
173
75.2.7
ARGON/METHAN/KOHLENDIOXID
.174
7.53
DISKUSSION
DER
PHOTOLUMINESZENZUNTERSUCHIMGEN
.
175
7.6
ZUSAMMENFASSUNG
DER
SCHICHTUNTERSUCHUNGEN
.
178
8.
DISKUSSION
DER
ERGEBNISSE
UND
ZUSAMMENFASSUNG
.
181
9.
LITERATUR
.
189 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Joeris, Pierre |
| author_facet | Joeris, Pierre |
| author_role | aut |
| author_sort | Joeris, Pierre |
| author_variant | p j pj |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010173674 |
| classification_tum | ELT 280d PHY 803d |
| ctrlnum | (OCoLC)64523240 (DE-599)BVBBV010173674 |
| discipline | Physik Elektrotechnik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV010173674</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19951124</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">950503s1994 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">943956358</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)64523240</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010173674</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 280d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 803d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Joeris, Pierre</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Plasmaprozesse und ihre Auswirkungen auf die CVD-Diamantabscheidung</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Pierre Joeris</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1994</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">IV, 199 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Hamburg, Univ., Diss., 1995</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">PECVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4267316-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Diamant</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012069-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Phasendiagramm</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174149-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Diamant</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012069-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">PECVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4267316-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Phasendiagramm</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174149-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006757322&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006757322</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010173674 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-18T00:45:33Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006757322 |
| oclc_num | 64523240 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-12 DE-355 DE-BY-UBR DE-11 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-12 DE-355 DE-BY-UBR DE-11 |
| physical | IV, 199 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1994 |
| publishDateSearch | 1994 |
| publishDateSort | 1994 |
| record_format | marc |
| spelling | Joeris, Pierre Verfasser aut Plasmaprozesse und ihre Auswirkungen auf die CVD-Diamantabscheidung vorgelegt von Pierre Joeris 1994 IV, 199 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Hamburg, Univ., Diss., 1995 Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd rswk-swf Diamant (DE-588)4012069-7 gnd rswk-swf Phasendiagramm (DE-588)4174149-3 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Diamant (DE-588)4012069-7 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 s Phasendiagramm (DE-588)4174149-3 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006757322&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Joeris, Pierre Plasmaprozesse und ihre Auswirkungen auf die CVD-Diamantabscheidung Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd Diamant (DE-588)4012069-7 gnd Phasendiagramm (DE-588)4174149-3 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4136925-7 (DE-588)4267316-1 (DE-588)4012069-7 (DE-588)4174149-3 (DE-588)4113937-9 |
| title | Plasmaprozesse und ihre Auswirkungen auf die CVD-Diamantabscheidung |
| title_auth | Plasmaprozesse und ihre Auswirkungen auf die CVD-Diamantabscheidung |
| title_exact_search | Plasmaprozesse und ihre Auswirkungen auf die CVD-Diamantabscheidung |
| title_full | Plasmaprozesse und ihre Auswirkungen auf die CVD-Diamantabscheidung vorgelegt von Pierre Joeris |
| title_fullStr | Plasmaprozesse und ihre Auswirkungen auf die CVD-Diamantabscheidung vorgelegt von Pierre Joeris |
| title_full_unstemmed | Plasmaprozesse und ihre Auswirkungen auf die CVD-Diamantabscheidung vorgelegt von Pierre Joeris |
| title_short | Plasmaprozesse und ihre Auswirkungen auf die CVD-Diamantabscheidung |
| title_sort | plasmaprozesse und ihre auswirkungen auf die cvd diamantabscheidung |
| topic | Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd Diamant (DE-588)4012069-7 gnd Phasendiagramm (DE-588)4174149-3 gnd |
| topic_facet | Dünne Schicht PECVD-Verfahren Diamant Phasendiagramm Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006757322&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT joerispierre plasmaprozesseundihreauswirkungenaufdiecvddiamantabscheidung |