Laserstreuung und Entladungsdiagnostik am Beschichtungsplasma eines anodischen Vakuumbogens:
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V
1.
EINLEITUNG
1
2.
DIE
BOGENENTLADUNG
5
2.1
DAS
KATHODENGEBIET
S
22
DAS
ANODENGEBIET
11
23
DAS
EXPANDIERENDE
PLASMA
14
3.
ERMITTLUNG
DER
NEUTRALTEILCHENDICHTE
MIT
HILFE
VON
LASERINDUZIERTER
FLUORESZENZ
_
20
3.1
GRUNDLAGEN
DER
LASERSTREUUNG
AN
GEBUNDENEN
ELEKTRONEN
20
3.1.1
EINFUEHRUNG
20
3.1.2
STREUUNG
AN
GEBUNDENEN
ELEKTRONEN
23
32
LIF
AM
DREI-NIVEAU-SYSTEM
_
27
3.2.1
VORAUSSETZUNGEN
FUER
DIE
LIF
_
27
3.2.2
BILANZGLEICHUNGEN
29
3.2.3
ANALYTISCHE
LOSUNG
FUER
RECHTECKFOERMIGE
LASERPULSVERLAEUFE
31
33
AUSWERTEMETHODEN
DER
FLUORESZENZSIGNALE
_
34
3.3.1
AUSWERTUNG
DER
MAXIMA
_
34
3.3.2
INTEGRALE
AUSWERTUNG
34
34
LIF
BEI
ZEITABHAENGIGEM
SAETTIGUNGSPARAMETER
37
3.4.1
EINFLUSS
DES
ZEITABHAENGIGEN
SAETTIGUNGSPARAMETERS
37
3.4.2
NUMERISCHES
KORREKTURVERFAHREN
41
33
KALIBRIERUNG
DER
FLUORESZENZSIGNALE
_
45
3.5.1
KALIBRIERUNG
MIT
RAYLEIGH-STREUUNG
46
3.5.2
KALIBRIERUNG
MIT
EINEM
ATOMSTRAHL
BEKANNTER
DICHTE
_
48
4.
BESTIMMUNG
DER
TEILCHENFLUESSE
51
4.1
ERMITTLUNG
DES
GESAMTTEILCHENFLUSSES
51
42
BESTIMMUNG
DER
FLUSSVERTEILUNG
UND
DER
ABSTRAHLCHARAKTERISTIK
_
54
5.
ENERGIEAUFGELOESTE
MASSENSPEKTROSKOPIE
61
6.
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
62
6.1
EXPERIMENTEUER
GESAMTAUFBAU
_
62
62
DAS
VAKUUMSYSTEM
_
62
63
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
DER
PLASMAENTLADUNG
_
64
6.3.1
DIE
ELEKTRODENANORDNUNG
64
6.3.2
ELEKTRISCHE
STEUERUNG DER
ENTLADUNG
65
6.3.3
MESSDATENERFASSUNG
DER
ENTLADUNGSPARAMETER
66
6.4
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
DES
LASERSTREUSYSTEMS
_
67
6.4.1
DAS
FARBSTOFFLASERSYSTEM
67
6.4.2
DIE
WELLENLAENGENEINSTELLUNG
:
68
6.4.3
DAS
OPTISCHE
ANREGUNGS
UND
DETEKTIONSSYSTEM
69
6.4.4
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
DES
ATOMSTRAHLOFENS
70
6.4.5
STEUERUNG
UND
DATENERFASSUNG
DER
STREUEXPENMENTE
71
VI
63
EXPERIMENTELLE
FLUSSBESTIMMUNG
_
72
6.5.1
ERMITTLUNG
DER
FLUBVERTEILUNG
UND
DER
ABSTRAHLCHARAKTERISTIK
72
7.
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
74
7.1
CHARAKTERISIERUNG
DER
ENTLADUNG
_
74
7.1.1
EINFLUSS
DER
ELEKTRODENGEOMETRIE
74
7.1.2
STROM-SPANNUNGSCHARAKTERISTIK
_
79
7.1.3
EINFLUSS
DES
HINTERGNINDGASDNICKES
82
7.1.4
EINFLUSS
DER
ANODENVERDAMPFUNG
83
7.1.5
EINFLUSS DER
KATHODENTEMPERATUR
84
7.2
ERGEBNISSE
DER
LASERSTREUEXPERIMENTE
86
7.2.1
VORVERSUCHE
86
7.2.2
LASERINDUZIERTE
FLUORESZENZ
IM
EXPANDIERENDEN
KUPFER-PLASMA
_
90
7.3
ERGEBNISSE
DER
FLUSSMESSUNGEN
95
7.3.1
EINFLUSS
DER
PLASMAGROESSEN
AUF
DEN
GESAMTTEILCHENFLUSS
95
7.3.2
EINFLUSS
DES
HINTERGRUNDGASDRUCKES
AUF
DEN
TEILCHENFLUSS
96
7.3.3
FLUSSVERTEILUNG
UND
ABSTRAHLCHARAKTERISTIK
DER
ENTLADUNG
97
74
ERGEBNISSE
DER
ENERGIEAUFGELOESTEN
MASSENSPEKTROSKOPIE
102
8.
SCHICHTUNTERSUCHUNGEN
112
9.
ZUSAMMENFASSUNG
119
LITERATURVERZEICHNIS
123 |
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