Indirekter elektrooptischer Test von integrierten Mikrowellenschaltungen:
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1994
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INHALTSVERZEICHNIS
0
VERZEICHNIS
DER
VERWENDETEN
ABKUERZUNGEN
UND
FORMELZEICHEN
.
1
1
EINLEITUNG
.
9
2
GRUNDLAGEN
DES
INDIREKTEN
ELEKTROOPTISCHEN
TESTS
.
16
2.1
KRISTALLOPTIK
.
16
2.1.1
INDEXELLIPSOID
UND
DOPPELBRECHUNG
.
16
2.1.2
LINEARER
ELEKTROOPTISCHER
EFFEKT
.
20
2.1.3
DISPERSION
DES
ELEKTROOPTISCHEN
TENSORS
.
25
2.2
ELEKTROOPTISCH
AKTIVE
MATERIALIEN
UND
IHRE
EIGENSCHAFTEN
.
26
2.2.1
ANORGANISCHE
KRISTALLE
.
27
2.2.1.1
LINEARER
ELEKTROOPTISCHER
EFFEKT
IN
LITAO
3
.
28
2.2.1.2
LINEARER ELEKTROOPTISCHER
EFFEKT
IN
KD*P
.
31
2.2.2
ORGANISCHE
ELEKTROOPTISCH
AKTIVE
MATERIALIEN
.
37
2.3
ELEKTROOPTISCHE
INTENSITAETSMODULATION
.
40
2.4
SAMPLING-TECHNIK
.
46
2.4.1
BESCHREIBUNG
IM
ZEITBEREICH
.
47
2.4.2
BESCHREIBUNG
IM
FREQUENZBEREICH
.
50
2.5
THEORETISCHE
AUFLOESUNGSGRENZEN
.
53
2.5.1
LINEARITAET
.
53
2.5.2
ORTSAUFLOESUNG
.
54
2.5.3
SPANNUNGSAUFLOESUNG
.
55
2.5.3
ZEITAUFLOESUNG
.
58
2.6
EINFLUSS
DES
TESTSYSTEMS
AUF
DIE
FUNKTION
DES
TESTOBJEKTES
.
60
3
STAND
DER
TECHNIK
BEIM
INDIREKTEN
ELEKTROOPTISCHEN
TEST
.
63
3.1
INDIREKTE
ELEKTROOPTISCHE
TESTSYSTEME
.
63
3.1.1
PRINZIPIELLER
AUFBAU
.
63
3.1.2
MESSSPITZENGEOMETRIEN
.
64
3.1.3
LEISTUNGSFAEHIGKEIT
BESTEHENDER
ELEKTROOPTISCHER
TESTSYSTEME
UND
BISHERIGE
TESTERGEBNISSE
.
65
3.2
FUNKTIONSBEEINFLUSSUNG
DES
TESTOBJEKTES
.
69
4
NEUENTWICKLUNG
EINES
INDIREKTEN
ELEKTROOPTISCHEN
TESTSYSTEMS
FUER
DEN
SCHALTUNGSINTERNEN
TEST
VON
MIKROWELLENSCHALTUNGEN
.
71
4.1
ANFORDERUNGEN
AN
EIN
INDIREKTES
ELEKTROOPTISCHES
TESTSYSTEM
.
71
4.2
AUFBAU
EINES
INDIREKTEN
ELEKTROOPTISCHEN
TESTSYSTEMS
.
73
4.2.1
OPTISCHER
AUFBAU
EINES
INDIREKTEN
ELEKTROOPTISCHEN
TESTSYSTEMS
.
76
4.2.1.1
LASERSYSTEM
.76
4.2.1.2
OPTISCHER
AUFBAU
ZUM
EINSTELLEN
DES
ARBEITSPUNKTES
DES
ELEKTROOPTISCHEN
MODULATORS
.
80
4.2.1.3
FOKUSSIERUNGSOPTIK
.
81
4.2.1.4
SIGNALVERZOEGERUNG
.
82
4.2.2
NEUENTWICKLUNG
EINER
KD*P-MESSSPITZE
.
83
4.2.2.1
AUFBAU
DER MESSSPITZE
.
85
4.2.2.2
HERSTELLUNGSTECHNOLOGIE
DER
MESSSPITZE
.
86
4.2.2.3
FREQUENZABHAENGIGKEIT
DER
MESSSPITZE
.
87
4.2.3
ELEKTRONISCHER
AUFBAU
DES
TESTSYSTEMS
.
88
4.2.3.1
SIGNALANSTEUERUNG
.
88
4.2.3.2
SIGNALDETEKTION
.
91
4.3
WIRKUNGSWEISE
DES
INDIREKTEN
ELEKTROOPTISCHEN
TESTSYSTEMS
.
95
4.3.1
MESSUNG
IM
FREQUENZBEREICH
.
95
4.3.2
MESSUNG
IM
ZEITBEREICH
.
97
4.3.3
MESSUNG
IM
ORTSBEREICH
.
98
4.4
EINFLUSS
VERSCHIEDENER
BETRIEBSKENNGROESSEN
.
98
4.4.1
EINFLUSS
DES
MESSSPITZENABSTANDES
.
99
4.4.2
EINFLUSS
DER
INTEGRATIONSZEIT
.
100
4.4.3
EINFLUSS
DER
LASERSTRAHLLEISTUNG
.
101
5
T
ESTSTRUKTUREN
.
103
5.1
ITG-TESTCHIP
.
103
5.2
KOPLANARE
LEITUNGSSTRUKTUR
.
104
5.3
WANDERWELLENVERSTAERKER
.106
5.4
OPTOELEKTRONISCHER
SCHALTER
.
109
5.5
INTERDIGITALKONDENSATOR
.
110
6
MESSERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
.
112
6.1
CHARAKTERISIERUNG
DES
TESTSYSTEMS
.
113
6.1.1
DEMONSTRATION
DER
LINEARITAET
MIT
HILFE
VON
SIGNALVERLAUFSMESSUNGEN
.
113
6.1.2
ORTSAUFLOESUNG
.
116
6.1.3
SPANNUNGSAUFLOESUNG
.
117
6.1.4
FREQUENZAUFLOESUNG
UND
ZEITAUFLOESUNG
.
119
6.2
BETRACHTUNG
DER
STOERGROESSEN
.
120
6.2.1
EINFLUSS
DER
ELEKTROOPTISCHEN
MESSSPITZE
.
120
6.2.1.1
SIMULATION
DES
EINFLUSSES
DER
ELEKTROOPTISCHEN
MESSSPITZE
.
121
6.2.1.2
MESSTECHNISCHE
VERIFIZIERUNG
DES
EINFLUSSES
DER
ELEKTROOPTISCHEN
MESSSPITZE
.
124
6.2.2
EINFLUSS
DER
LASERSTRAHLUNG
AUF
EINE
MIKROWELLENSCHALTUNG
128
6.3
MESSUNGEN
IM
FREQUENZBEREICH
.
129
6.3.1
MESSUNGEN
AM
ITG-TESTCHIP
.
130
6.3.2
FREQUENZGANG
EINER
KOPLANAREN
LEITUNGSSTRUKTUR
.
133
6.3.3
FREQUENZGANG
EINES
WANDERWELLENVERSTAERKERS
.
138
6.3.4
CHARAKTERISIERUNG
SCHALTUNGSINTERNER
BAUELEMENTE
EINES
WANDERWELLENVERSTAERKERS
.
142
6.4
MESSUNGEN
IM
ZEITBEREICH
.
147
6.4.1
PULSMESSUNG
AN
EINEM
OPTOELEKTRONISCHEN
SCHALTER
.
148
6.4.2
PULSAUSBREITUNG
AUF
EINER
GERADEN
KOPLANAREN
LEITUNGS
STRUKTUR
.
151
6.5
MESSUNGEN
IM
ORTSBEREICH
.
154
7
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
156
8
LITERATURVERZEICHNIS.
.
160
ANHANG
A1
JONES-MATRIZEN
FORMULIERUNG
OPTISCHER
SYSTEME.
171
A2
NETZWERKANALYSE
.
174 |
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