Röntgenographische Strukturuntersuchungen an mittels PVD-Verfahren hergestellten Hartstoffschichten:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
1994
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Physical Description: | 115 Bl. graph. Darst. |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010082735 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20150211 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 950228s1994 gw d||| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 943391598 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)75576136 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010082735 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-12 |a DE-29T |a DE-355 |a DE-11 |a DE-83 | ||
| 084 | |a ZM 3700 |0 (DE-625)157028: |2 rvk | ||
| 084 | |a ZM 7680 |0 (DE-625)160562: |2 rvk | ||
| 084 | |a WER 480d |2 stub | ||
| 084 | |a WER 770d |2 stub | ||
| 084 | |a FER 882d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Elstner, Frank |d 1963- |e Verfasser |0 (DE-588)122284070 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Röntgenographische Strukturuntersuchungen an mittels PVD-Verfahren hergestellten Hartstoffschichten |c vorgelegt von Frank Elstner |
| 264 | 1 | |c 1994 | |
| 300 | |a 115 Bl. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Chemnitz, Zwickau, Techn. Univ., Diss., 1994 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Hartstoff |0 (DE-588)4023555-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Nitride |0 (DE-588)4171929-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Röntgenstrukturanalyse |0 (DE-588)4137203-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a PVD-Verfahren |0 (DE-588)4115673-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a PVD-Verfahren |0 (DE-588)4115673-0 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Hartstoff |0 (DE-588)4023555-5 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Nitride |0 (DE-588)4171929-3 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Röntgenstrukturanalyse |0 (DE-588)4137203-7 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006691965&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006691965 | |
Record in the Search Index
| _version_ | 1812453892469817344 |
|---|---|
| adam_text |
I. EINLEITUNG UND ZIELSTELLUNG. 6
II. ROENTGENTHEORETISCHE GRUNDLAGEN. 9
1. GRUNDLAGEN DER ROENTGENBEUGUNG. 9
1.1. STREUUNG VON ROENTGENSTRAHLEN, LAUE-GLEICHUNGEN. 9
1.2. BRAGGSCHE GLEICHUNG.11
1.3. AUFNAHME DER MESSWERTE .13
2. INTENSITAET EINES ROENTGENPEAKS .13
2.1. ATOMFAKTOR.13
2.2. STRUKTURFAKTOR.14
2.3. TEMPERATURFAKTOR ODER DEBYE-WALLER-FAKTOR.15
3. BREITE UND GESTALT VON ROENTGENREFLEXEN.16
3.1. INSTRUMENTELLE FAKTOREN.17
3.1.1. STRAHLUNG.17
3.1.2. GEOMETRISCHE URSACHEN .17
3.2. STRUKTURELLE FAKTOREN. 18
3.2.1. KRISTALLITGROESSE: SCHERRER-GLEICHUNG.18
3.2.2. DEFEKTE DER GITTERSTRUKTUR. MIKROSPANNUNGEN.19
3.2.3. WINKELABHAENGIGKEIT.20
3.2.4. METHODE VON KOCHENDOERFER .20
3.2.5. KORREKTUR DER INTEGRALEN BREITEN.21
3.2.6. STOKES-KORREKTUR.23
3.3. ERMITTLUNG VON PEAKGESTALT UND LAGE DES GLANZWINKELS.24
3.3.1. SCHWERPUNKTBESTIMMUNG.24
3.3.2. PEAKFITTING UND KORREKTUR DER INTEGRALEN BREITEN (FORTSETZUNG) .
. 24
3.4. DAS VERFAHREN VON WARREN UND AVERBACH .28
3.4.1. PROBLEME BEI DER PRAKTISCHEN ANWENDUNG DER METHODE VON
WARREN
UND AVERBACH .32
4. ROENTGENOGRAPHIFCHE SPANNUNGSMESSUNG MIT DER SIN
2I/--METHODE .32
5. BESONDERHEITEN BEI DER ROENTGENSTRUKTURANALYSE AN DUENNEN SCHICHTEN .35
6. PRAEZISIONSBESTIMMUNGEN DER GITTERPARAMETER.36
7. PHASENANALYSE.37
III. NITRIDE DER ELEMENTE DER IV. NEBENGRUPPE.38
1. ALLGEMEINE EIGENSCHAFTEN .38
2. KRISTALLSTRUKTUREN
39
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/943391598
3. KRISTALLCHEMIE .41
3.1. KOVALENTE BINDUNG.41
3.2. IONISCHE BINDUNGSKOMPONENTE.41
3.3. METALLBINDUNG.41
3.4. VAKANZEN AUF STICKSTOFFGITTERPLAETZEN .42
IV. EXPERIMENTE UND DISKUSSION.43
1. TITANNITRIDSCHICHTEN . 43
1.1. ALLGEMEINES.43
1.2. MAGNETRON-SPUTTERING VON TIN BEI NIEDRIGEN TEMPERATUREN.44
1.2.1. BESCHICHTUNGSPROZESS .44
1.2.2. UNTERSUCHUNGSMETHODEN.46
1.2.3. RESULTATE .47
1.2.3.1. WACHSTUMSRATE.47
1.2.3.2. SCHICHTZUSAMMENSETZUNG UND HAERTE .47
1.2.3.3. SCHICHTMORPHOLOGIE.49
1.2.3.4. KRISTALLOGRAPHISCHE PHASEN.SO
1.2.3.5. KRISTALLITGROESSEN UND MITTLERE SCHWANKUNGEN DER D^, . . 52
1.2.3.6. TEXTUREN.54
1.2.3.7. GITTERPARAMETER.55
1.2.3.8. SPANNUNGSMESSUNGEN.56
1.3. EINFLUSS DER LAGE DER SUBSTRATE RELATIV ZUM TARGET AUF DIE
SCHICHTEIGEN
SCHAFTEN . 58
1.3.1. ABSCHEIDEBEDINGUNGEN.59
1.3.2. UNTERSUCHUNGSERGEBNISSE.59
1.3.3. RESULTATE DER ROENTGENUNTERSUCHUNGEN.60
1.3.3.1. TEXTUREN.60
1.3.3.2. KRISTALLITGROESSEN.61
1.3.3.3. GITTERPARAMETER.62
1.4. VARIATION DER BIASSPANNUNG.63
1.4.1. ZIELE UND ABSCHEIDEBEDINGUNGEN.63
1.4.2. SCHICHTZUSAMMENSETZUNG UND HAERTE.64
1.4.3. ERGEBNISSE DER ROENTGENOGRAPHISCHEN UNTERSUCHUNGEN .66
1.4.3.1. KRISTALLITGROESSEN UND MIKROSPANNUNGEN.66
1.4.3.2. TEXTUREN.67
1.4.3.3. GITTERPARAMETER.68
1.5. TEMPERVERSUCHE.69
1.5.1. ALLGEMEINES .69
1.5.2. ROENTGENOGRAPHISCHE IN .'/-MESSUNGEN.69
1.5.2.1. MESSPROZEDUR.69
1.5.2.2. MESSERGEBNISSE.71
1.5.3. TEMPERVERSUCHE IM VAKUUM.73
1.6. DISKUSSION.75
1.6.1. IN JIFK-TEMPERVERSUCHE . 75
1.6.1.1. RELAXATIONSPROZESSE IN 111 -RICHTUNG.75
1.6.1.2. LINEARE THERMISCHE AUSDEHNUNGSKOEFFIZIENTEN.79
1.6.2. EINFLUSS DES STICKSTOFFPARTIALDRUCKS AUF DIE SCHICHTEIGENSCHAF
TEN .82
1.6.2.1. HAERTE, MORPHOLOGIE, KRISTALLITGROESSEN UND TEXTUREN . 82
1.6.2.2. KRISTALLOGRAPHISCHE PHASEN.82
1.6.2.3. SCHICHTSPANNUNGEN.83
1.6.2.4. GITTERVERZERRUNGEN.84
1.6.2.4.1. DER FALL AO
,U AO200 . 84
1.6.2.4.2. DER FALL AO200 AO1" .86
1.6.2.4.3. ELASTISCHE KONSTANTEN .87
1.6.3. ABHAENGIGKEIT DER SCHICHTEIGENSCHAFTEN VOM SUBSTRATORT.87
1.6.4. EINFLUSS DER BIASSPANNUNG .88
2. ZIRKONIUM- UND ZIRKONIUMNITRIDSCHICHTEN.90
2.1. ALLGEMEINES.90
2.2. HERSTELLUNGS- UND SCHICHTPARAMETER . . . .90
2.3. ROENTGENSTRUKTURUNTERSUCHUNG.92
2.3.1. ALLGEMEINES .92
2.3.2. ZR-ZRN-UEBERGANG.93
2.3.3. UEBERSICHT, TEXTUREN.96
2.3.4. GITTERPARAMETER .97
2.3.5. SPANNUNGSMESSUNG .98
2.3.6. KRISTALLITGROESSEN .99
2.4. DISKUSSION.99
2.4.1. KRISTALLITGROESSEN, TEXTUREN, HAERTE.99
2.4.2. GITTERVERZERRUNG.100
2.4.2.1. VERGLEICH VON ZR- UND TI-SCHICHTEN. 100
2.4.3.2. VERGLEICH VON ZRN- UND TIN-SCHICHTEN. 101
3. TITAN-BOR-NITRI ^-SCHICHTEN.102
3.1. ALLGEMEINES.102
3.2. ABSCHEIDEVERFAHREN UND -BEDINGUNGEN. 102
3.3. EXPERIMENTELLE RESULTATE .104
3.3.1. SCHICHTZUSAMMENSETZUNG UND HAERTE. 104
3.3.2. VERSCHLEISSMESSUNGEN (BOHRERTEST). 105
3.3.3. ROENTGENSTRUKTURUNTERSUCHUNGEN. 106
3.3.3.1. KRISTALLOGRAPHISCHE PHASEN, TEXTUREN . 107
3.3.3.2. KRISTALLITGROESSEN UND MIKROSPANNUNGEN. 108
3.3.3.3. GITTERPARAMETER. 108
3.4. DISKUSSION.109
3.4.1. DER EINFLUSS VON CB AUF DIE SCHICHTSTRUKTUR. 109
3.4.2. EINFLUSS DER SCHICHTSTRUKTUR AUF HAERTE UND VERSCHLEISS. 110
V. ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK. 111
VI. LITERATURVERZEICHNIS
. 113 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Elstner, Frank 1963- |
| author_GND | (DE-588)122284070 |
| author_facet | Elstner, Frank 1963- |
| author_role | aut |
| author_sort | Elstner, Frank 1963- |
| author_variant | f e fe |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010082735 |
| classification_rvk | ZM 3700 ZM 7680 |
| classification_tum | WER 480d WER 770d FER 882d |
| ctrlnum | (OCoLC)75576136 (DE-599)BVBBV010082735 |
| discipline | Werkstoffwissenschaften Fertigungstechnik Werkstoffwissenschaften / Fertigungstechnik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV010082735</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20150211</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">950228s1994 gw d||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">943391598</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75576136</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010082735</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZM 3700</subfield><subfield code="0">(DE-625)157028:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZM 7680</subfield><subfield code="0">(DE-625)160562:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">WER 480d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">WER 770d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FER 882d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Elstner, Frank</subfield><subfield code="d">1963-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)122284070</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Röntgenographische Strukturuntersuchungen an mittels PVD-Verfahren hergestellten Hartstoffschichten</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Frank Elstner</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1994</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">115 Bl.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Chemnitz, Zwickau, Techn. Univ., Diss., 1994</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Hartstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4023555-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Nitride</subfield><subfield code="0">(DE-588)4171929-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Röntgenstrukturanalyse</subfield><subfield code="0">(DE-588)4137203-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">PVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4115673-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">PVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4115673-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Hartstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4023555-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Nitride</subfield><subfield code="0">(DE-588)4171929-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Röntgenstrukturanalyse</subfield><subfield code="0">(DE-588)4137203-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006691965&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006691965</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010082735 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-10-09T16:18:44Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006691965 |
| oclc_num | 75576136 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-12 DE-29T DE-355 DE-BY-UBR DE-11 DE-83 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-12 DE-29T DE-355 DE-BY-UBR DE-11 DE-83 |
| physical | 115 Bl. graph. Darst. |
| publishDate | 1994 |
| publishDateSearch | 1994 |
| publishDateSort | 1994 |
| record_format | marc |
| spelling | Elstner, Frank 1963- Verfasser (DE-588)122284070 aut Röntgenographische Strukturuntersuchungen an mittels PVD-Verfahren hergestellten Hartstoffschichten vorgelegt von Frank Elstner 1994 115 Bl. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Chemnitz, Zwickau, Techn. Univ., Diss., 1994 Hartstoff (DE-588)4023555-5 gnd rswk-swf Nitride (DE-588)4171929-3 gnd rswk-swf Röntgenstrukturanalyse (DE-588)4137203-7 gnd rswk-swf PVD-Verfahren (DE-588)4115673-0 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content PVD-Verfahren (DE-588)4115673-0 s Hartstoff (DE-588)4023555-5 s Nitride (DE-588)4171929-3 s Röntgenstrukturanalyse (DE-588)4137203-7 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006691965&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Elstner, Frank 1963- Röntgenographische Strukturuntersuchungen an mittels PVD-Verfahren hergestellten Hartstoffschichten Hartstoff (DE-588)4023555-5 gnd Nitride (DE-588)4171929-3 gnd Röntgenstrukturanalyse (DE-588)4137203-7 gnd PVD-Verfahren (DE-588)4115673-0 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4023555-5 (DE-588)4171929-3 (DE-588)4137203-7 (DE-588)4115673-0 (DE-588)4113937-9 |
| title | Röntgenographische Strukturuntersuchungen an mittels PVD-Verfahren hergestellten Hartstoffschichten |
| title_auth | Röntgenographische Strukturuntersuchungen an mittels PVD-Verfahren hergestellten Hartstoffschichten |
| title_exact_search | Röntgenographische Strukturuntersuchungen an mittels PVD-Verfahren hergestellten Hartstoffschichten |
| title_full | Röntgenographische Strukturuntersuchungen an mittels PVD-Verfahren hergestellten Hartstoffschichten vorgelegt von Frank Elstner |
| title_fullStr | Röntgenographische Strukturuntersuchungen an mittels PVD-Verfahren hergestellten Hartstoffschichten vorgelegt von Frank Elstner |
| title_full_unstemmed | Röntgenographische Strukturuntersuchungen an mittels PVD-Verfahren hergestellten Hartstoffschichten vorgelegt von Frank Elstner |
| title_short | Röntgenographische Strukturuntersuchungen an mittels PVD-Verfahren hergestellten Hartstoffschichten |
| title_sort | rontgenographische strukturuntersuchungen an mittels pvd verfahren hergestellten hartstoffschichten |
| topic | Hartstoff (DE-588)4023555-5 gnd Nitride (DE-588)4171929-3 gnd Röntgenstrukturanalyse (DE-588)4137203-7 gnd PVD-Verfahren (DE-588)4115673-0 gnd |
| topic_facet | Hartstoff Nitride Röntgenstrukturanalyse PVD-Verfahren Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006691965&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT elstnerfrank rontgenographischestrukturuntersuchungenanmittelspvdverfahrenhergestelltenhartstoffschichten |