Charakterisierung der Mikrostruktur amorpher PVD-Schichten am Beispiel Siliciumnitrid:
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1992
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INHALTSVERZEICHNIS
1. EINLEITUNG .1
2. STRUKTUR UND WACHSTUM AMORPHER PVD - SCHICHTEN .3
2.1. DIE HERAUSBILDUNG DER MIKROSTRUKTUR BEIM DUENNSCHICHTWACHSTUM.3
2.1.1. QUALITATIVE BETRACHTUNG DER MIKROSTRUKTUR -
STRUKTURZONENMODELLE.3
2.1.2. GRUNDLAGEN FUER EINE NEUE, QUANTITATIVE BETRACHTUNG DER
MIKROSTRUKTUR -
FRAKTALE GEOMETRIE.7
2.1.3. HILLOCKWACHSTUM.13
2.2 FRUEHE WACHSTUMSSTADIEN.15
2.2.1 DAS DUENNSCHICHTWACHSTUM IN DEN ERSTEN ATOMLAGEN.15
2.2.2 COMPUTERSIMULATION DES DUENNSCHICHTWACHSTUMS UNTER VERWENDUNG
DES BALLISTISCHEN AGGREGATIONSMODELLS.19
2.2.3 ANWENDUNG DES VORGESTELLTEN SIMULATIONSPROGRAMMS AUF GESPUTTERTE
ZWEI-KOMPONENTEN-SYSTEME AM BEISPIEL SILICIUMNITRID.23
2.2.4 AUSGEWAEHLTE SIMULATIONSERGEBNISSE.26
3. EXPERIMENTELLE VORAUSSETZUNGEN.41
3.1 ABSCHEIDUNG VON SILICIUMNITRID.41
3.1.1 REAKTIVES DC - HOCHRATESPUTTERN.41
3.1.2 GERAETETECHNIK.42
3.2. ELEKTRONENMIKROSKOPISCHE UNTERSUCHUNGEN.44
3.2.1 GERAETETECHNISCHE VORAUSSETZUNGEN.44
3.2.2 PRAEPARATIONSVERFAHREN.45
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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4. QUANTIFIZIERUNG DER MIKROSTRUKTUR.49
4.1 EINFUEHRUNG DES MITTLEREN SAEULENDURCHMESSERS ALS CHARAKTERISTISCHE
GROESSE.49
4.2 BESTIMMUNG DES MITTLEREN SAEULENDURCHMESSERS - FEHLERBETRACHTUNG.51
4.3 BESTIMMUNG VON ANZAHL UND GROESSENVERTEILUNG DER HILLOCKS.53
5. CHARAKTERISIERUNG DER MIKROSTRUKTUR MITTELS FRAKTALER GEOMETRIE.54
5.1. EVOLUTIONSSTRUKTUR.54
5.2. SKALENINVARIANZ.
58
6. ENTWICKLUNG DER MIKROSTRUKTUR UNTER VERSCHIEDENEN
HERSTELLUNGSBEDINGUNGEN.
88
6.1. HERAUSBILDUNG DER MIKROSTRUKTUR BEI VERAENDERTEN TOTALDRUECKEN.66
6.1.1. ABSCHEIDUNG VON SILICIUMNITRIDSCHICHTEN BEI VERSCHIEDENEN
TOTALDRUECKEN.88
6.1.2. AENDERUNG DES TOTALDRUCKES WAEHREND DER BESCHICHTUNG.70
6.2. EINFLUSS DER TEMPERATUR.72
6.2.1. SUBSTRATTEMPERATUR.
72
6.2.2. NACHBEHANDLUNG DER SCHICHTEN DURCH TEMPERN.74
6.3. VERFAHRENSBEDINGTE EFFEKTE UND HILLOCKWACHSTUM.76
6.4. SCHICHTSTRUKTUR UND MECHANISCHE EIGENSCHAFTEN.82
6.4.1 EINFLUSS DER ABSCHEIDEBEDINGUNGEN AUF DIE MECHANISCHEN SPANNUNGEN
DER SIN
X-SCHICHTEN.82
6.4.2. VERHALTEN DER SINX-SCHICHTEN BEI KAVITATIVER BEANSPRUCHUNG.84
7. ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK.89
8
.
LITERATUR
93
ANHANG.98
THESEN.102 |
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