Zösch, A. (1992). Charakterisierung der Mikrostruktur amorpher PVD-Schichten am Beispiel Siliciumnitrid.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Zösch, Antje. Charakterisierung Der Mikrostruktur Amorpher PVD-Schichten Am Beispiel Siliciumnitrid. 1992.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Zösch, Antje. Charakterisierung Der Mikrostruktur Amorpher PVD-Schichten Am Beispiel Siliciumnitrid. 1992.
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