Spezielle Verfahren der Mikrostrukturierung von Glas:
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| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Aachen
Shaker
1994
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| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Berichte aus der Mikromechanik
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| adam_text | BERICHTE AUS DER MIKROMECHANIK KRISTINA SCHMIDT SPEZIELLE VERFAHREN DER
MIKROSTRUKTURIERUNG VON GLAS (DISS. TECHN. UNIV. ILMENAU) VERLAG SHAKER
AACHEN 1994 1. EINLEITUNG 1 2. STRUKTURIERUNG VON FOTOSENSIBLEM GLAS 4
2.1 FOTOFORMVERFAHREN 4 2.2 TECHNOLOGISCHE UNTERSUCHUNGEN ZU DEN
PROZESSSCHRITTEN DES FOTOFORMVERFAHRENS 8 2.2.1 BELICHTUNG DES GLASES MIT
ENERGIEREICHER, KURZWELLIGER UV-STRAHLUNG ... 8 2.2.1.1 FOTOCHEMISCHER
PROZESS DER BELICHTUNG 8 2.2.1.2 TRANSMISSIONSVERHALTEN DES UNBELICHTETEN
GLASES 10 2.2.2 QUELLEN DER UV-BELICHTUNG 11 2.2.2.1 BELICHTEN MIT
QUECKSILBERHOCHDRUCKLAMPEN 11 2.2.2.1.1 BELICHTUNGSVERFAHREN DER
FOTOLITHOGRAFIE 11 2.2.2.1.2 ENERGIESPEKTRUM DER UV-QUELLE 13 2.2.2.1.3
AUSWAHLKRITERIEN FUER MASKENMATERIAL UND BELICHTUNGS- OPTIK 15 2.2.2.1 4
ERMITTELN DER BELICHTUNGSZEIT 16 2.2.2.1.5 EINFLUSS OPTISCHER EFFEKTE AUF
DIE STRUKTURGENAUIGKEIT . 28 2.2.2.2 BELICHTEN MIT LASER 31 2.2.2.2.1
VERWENDETE LASERANLAGE 31 2.2 2.2.2 VORVERSUCHE ZUR ERMITTLUNG DER
RANDPARAMETER 32 2.2.2.2.3 BELICHTEN MITTELS MASKE 36 2.2.2.2.4
BEWERTUNG DER BELICHTUNG MIT EXCIMERLASER UND MASK ALIGNER 36 2.2.3
TEMPERATURBEHANDLUNG DES GLASES - ENTWICKLUNG DER BELICHTETEN GEBIETE 38
2.2.3.1 KEIMBILDUNG UND KRISTALLWACHSTUM 38 2.2.3 2 VORGAENGE IM GLAS
WAEHREND DES TEMPEMS 39 2.2.3.3 ERMITTELN DER OPTIMALEN TEMPERTEMPERATUR
40 2.2.3.4 EINFLUSS DER TEMPERUNTERLAGE AUF DIE OBERFLAECHENBE-
SCHAFFENHEIT DER STRUKTURIERTE GLASSUBSTRATE 45 2.2.3.5 OPTIMALE
PARAMETER FUER DEN PROZESSSCHNTT DER WAERMEBEHAND- LUNG 46 2.2.3.6
SPANNUNGEN ZWISCHEN GLAS- UND KRISTALLPHASE 48 2.2.4 AETZPROZESS 50
2.2.4.1 ABTRAGSMECHANISMUS WAEHREND DES AETZENS 50 2.2.4.2
OBERFLAECHENSTRUKTUR DER AETZWAENDE 52 2.2 4.3 EINFLUSS DER KONZENTRATION
DER FLUSSSAEURE AUF DAS LOESLICH- KEITSVERHALTEN VON GLAS- UND
KRISTALLPHASE 54 2.2.4.4 EINFLUSS DES TEMPERREGIMES AUF DIE SELEKTIVE
AETZBARKEIT 56 2.2.4.5 AETZEN MIT ULTRASCHALL UNTERSTUETZUNG 57 2.2.4.6
EINFLUSS DES STRUKTURDURCHMESSERS AUF DIE AETZGESCHWINDIGKEIT . 59 2.2.4.7
AETZEN VON STRUKTUREN 60 2.2.4.7.1 ZWEISEITIGES AETZEN 60
2.2.4.7.2 ERGEBNISSE DER STRUKTURIERUNG FUER DAS ZWEISEITIGE AETZEN 61
2.2.4.7 3 UNTERSUCHUNGEN ZUR REPRODUZIERBARKEIT VON STRUKTUREN 65
2.2.4.7.4 EINSEITIGES AETZEN 66 2.2.4.7.5 BEWERTUNG DES AETZPROZESSES 69
2.2.5 HERSTELLUNG VON STRUKTUREN DEFINIERTER TIEFE 70 2.2.5.1 TIEFE DER
KRISTALLPHASE IN ABHAENGIGKEIT VON DER BELICHTUNGSZEIT 70 2.2.5.2
GESTEUERTE TIEFENDIFFUSION VON SILBER 72 2.2.5.3 TIEFENAETZEN NACH ZEIT
74 2.2.5.4 ERGEBNISSE DER TIEFENSTRUKTURIERUNG 75 2.2.6 KERAMISIEREN VON
STRUKTURIERTEN BAUTEILEN 79 3. STRUKTURIERUNG VON GLAS MIT LASER 85 3.1
GRUNDLAGEN DER LASERBEARBEITUNG VON TRANSPARENTEN MATERIALIEN 85 3.2
STAND DER TECHNIK 87 3.3 LASERSYSTEME FUER DIE GLASBEARBEITUNG 87 3 4
MIKROMATERIALBEARBEITUNG MIT DEM ND:YAG-LASER 90 3.4.1 WECHSELWIRKUNG
GLAS/LASER 90 3.4.2 LASERBOHREN 93 3.4.2.1 EINZUBRINGENDE
STRAHLUNGSENERGIE 93 3.4.2.2 TECHNOLOGISCHE PARAMETER 94 3.4.2.2.1
ANLAGEN- UND PROZESSGROESSEN 94 3.4.2.2.2 VORVERSUCHE ZUR ERMITTLUNG DER
IMPULSDAUER 96 3.4.2.2.3 ABTRAGSTIEFE IN ABHAENGIGKEIT VON DER IMPULS-
FREQUENZ 99 3.4.2.2.4 BOHRUNGSGEOMETRIE IN ABHAENGIGKEIT VON DER LADE-
SPANNUNG 102 3.4.2.2.5 SPUELGASUNTERSTUETZTER ABTRAG 104 3.4.2.2.6
OPTIMIERTE VERFAHRENSPARAMETER 108 3.4.3 SPANNUNGSARMES BEARBEITEN 110
3.4.4 NACHBEHANDLUNG DER SUBSTRATE 112 3.4.5 UNTERSUCHUNGEN ZUR
REPRODUZIERBARKEIT DER STRUKTUREN 114 3.4.6 HERSTELLUNG DEFINIERTER
STRUKTUREN 116 3.4.6.1 ERMITTLUNG DES UEBERLAPPUNGSGRADES DER
LASERIMPULSE 116 3.4.6.2 LINIENFOERMIGE VERTIEFUNGEN 117 3.4.6.3
RAUHIGKEIT DER STRUKTURWAND IN ABHAENGIGKEIT VON DER VOR-
SCHUBGESCHWINDIGKEIT 120 3.4.6.4 FLAECHENMAESSIGER ABTRAG BEI GERINGER
TIEFE MIT DEM LASER 122 4. ZUSAMMENFASSUNG 126 5. LITERATURVERZEICHNIS
132
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