Zethoff, M. (1994). Ionenenergieverteilungsfunktionen auf der geerdeten Elektrode einer kapazitiv und induktiv gekoppelten Hochfrequenzentladung.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Zethoff, Martin. Ionenenergieverteilungsfunktionen Auf Der Geerdeten Elektrode Einer Kapazitiv Und Induktiv Gekoppelten Hochfrequenzentladung. 1994.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Zethoff, Martin. Ionenenergieverteilungsfunktionen Auf Der Geerdeten Elektrode Einer Kapazitiv Und Induktiv Gekoppelten Hochfrequenzentladung. 1994.
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