Untersuchungen von Stromdichte-, Temperatur- und Massenflussverteilungen in Viastrukturen integrierter Schaltungen:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1994
|
| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9]
184 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Item Description: | Zugl.: Hannover, Univ., Diss. |
| Physical Description: | VII, 109 S. graph. Darst. |
| ISBN: | 3183184095 |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV009780795 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19941012 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 940822s1994 gw d||| mm|| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 941548317 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3183184095 |9 3-18-318409-5 | ||
| 035 | |a (OCoLC)35545763 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV009780795 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-210 |a DE-83 | ||
| 084 | |a ZN 4900 |0 (DE-625)157417: |2 rvk | ||
| 084 | |a ELT 280d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Weide, Kirsten |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Untersuchungen von Stromdichte-, Temperatur- und Massenflussverteilungen in Viastrukturen integrierter Schaltungen |c Kirsten Weide |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Düsseldorf |b VDI-Verl. |c 1994 | |
| 300 | |a VII, 109 S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9] |v 184 | |
| 500 | |a Zugl.: Hannover, Univ., Diss. | ||
| 650 | 0 | 7 | |a VLSI |0 (DE-588)4117388-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a LSI |0 (DE-588)4168200-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mehrschichtschaltung |0 (DE-588)4169321-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Durchkontaktieren |0 (DE-588)4150891-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Elektromigration |0 (DE-588)4296761-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Metallisieren |0 (DE-588)4169599-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a LSI |0 (DE-588)4168200-2 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Mehrschichtschaltung |0 (DE-588)4169321-8 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Metallisieren |0 (DE-588)4169599-9 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Durchkontaktieren |0 (DE-588)4150891-9 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Elektromigration |0 (DE-588)4296761-2 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a VLSI |0 (DE-588)4117388-0 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Mehrschichtschaltung |0 (DE-588)4169321-8 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Metallisieren |0 (DE-588)4169599-9 |D s |
| 689 | 1 | 3 | |a Durchkontaktieren |0 (DE-588)4150891-9 |D s |
| 689 | 1 | 4 | |a Elektromigration |0 (DE-588)4296761-2 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 810 | 2 | |a 9] |t Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI |v 184 |w (DE-604)BV047505631 |9 184 | |
| 856 | 4 | 2 | |m HBZ Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006472058&sequence=000002&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006472058 | ||
Record in the Search Index
| _version_ | 1804124130756263936 |
|---|---|
| adam_text | Titel: Untersuchungen von Stromdichte-, Temperatur- und Massenflußverteilungen in Viastrukturen integriert
Autor: Weide, Kirsten
Jahr: 1994
Inhaltsverzeichnis Verzeichnis der verwendeten Abkürzungen und Symbole 1 Einleitung ................................................ 1 2 Aufbau der Viastrukturen..................................... 4 2.1 Unterschiede zwischen den Viastrukturen ..................... 4 2.2 Ausfallmechanismen bei Viastrukturen ....................... 6 3 Theoretische Betrachtungen .................................. 8 3.1 Elektromigration und Thermomigration........................ 8 3.2 Bestimmungsgleichung für das elektrische Potential .............. 13 3.2.1 Temperaturunabhängiger Fall ......................... 13 3.2.2 Temperaturabhängige Materialeigenschaften .............. 14 3.3 Vorgehensweise bei der Methode der finiten Elemente ............ 16 4 Beschreibung der Simulationsmodelle........................... 18 4.1 FEM-Grundmodell der Viastruktur........................... 18 4.2 Netzfeinheit und Singularitäten ............................. 22 4.3 Parameter der verwendeten Materialien ....................... 27 4.3.1 Wärmeleitfähigkeiten und spezifische Widerstände .......... 27 4.3.2 Wiedemann-Franz-Gesetz............................ 29 5 Verifikation des Simulationsmodells ............................ 34 5.1 Beschreibung der gefertigten Vias........................... 34 5.2 Temperaturunabhängige Untersuchung der Vias ................ 35 5.2.1 Korrelation bei variierender Viagrundfläche................ 35 5.3.2 Einfluß der Überlappsumme .......................... 36 5.3 Temperaturabhängige Untersuchung der gefertigten Vias .......... 37 5.3.1 Kritischer Strom der gefertigten Vias .................... 38 5.3.2 Vergleich der mittleren Leitbahntemperaturen.............. 40 III
6 Stromdichteverteilung in der Viastruktur ......................... 42 6.1 Untersuchung der Viadimensionierung........................ 43 6.1.1 Einfluß der Viagrundfläche............................ 43 6.1.2 Variation der Kantenbedeckung........................ 45 6.1.3 Untersuchung des Aspect Ratio ....................... 49 6.1.4 Einfluß des Taperwinkels............................. 50 6.1.5 Variation der Füllhöhe und des Füllmaterials............... 53 6.2 Einfluß der Leitbahndimensionierung ......................... 54 6.2.1 Variation des Überlapps ............................. 55 6.2.2 Untersuchung der Leitbahnhöhe ....................... 57 6.3 Einfluß von Barrierenschichten ............................. 60 6.3.1 Konventionelles Modell mit Barrieren .................... 61 6.3.2 Gefülltes Modell mit Barrieren ......................... 65 6.4 Ergebnisse der temperaturunabhängigen Untersuchungen ......... 66 7 Temperaturverteilung in der Viastruktur.......................... 68 7.1 Variation der Stromdichte................................. 69 7.2 Kritischer Strom aus den Simulationen ....................... 73 7.3 Untersuchung der Dimensionierung und der Materialeinflüsse....... 74 7.3.1 Abstand zwischen den Viaketten....................... 74 7.3.2 Feldoxlddlcke und Passivierung........................ 75 7.3.3 Variation der Leitbahnlänge und des Überlapps ............ 76 7.3.4 Variation des Leitbahnmaterials........................ 79 7.3.5 Aspect Ratio und Viafüllmaterial........................ 80 7.4 Einfluß einer Barrierenschicht .............................. 83 7.5 Ergebnisse der temperaturabhängigen Untersuchungen ........... 85 8 Massenfluß und Massenflußdivergenzen......................... 87 8.1 Untersuchung des Massenflusses beim gefertigten Via............ 88 8.1.1 Fehlerort aus Simulation und REM-Analyse................ 88 8.1.2 Stromrichtungsabhängigkeit .......................... 91 IV
8.2 Massenflußdivergenzen in den unterschiedlichen Viastrukturen ...... 93 8.2.1 Konventionelles Via ................................ 93 8.2.2 Gefülltes Via...................................... 96 8.2.3 Vergleich der Viastrukturen........................... 97 8.3 Massenfluß im Aluminium bei Barrieren ....................... 99 8.4 Ergebnisse der Untersuchungen der Massenflüsse...............101 9 Zusammenfassung..........................................102 10 Schriftumsverzeichnis .......................................105 V
|
| any_adam_object | 1 |
| author | Weide, Kirsten |
| author_facet | Weide, Kirsten |
| author_role | aut |
| author_sort | Weide, Kirsten |
| author_variant | k w kw |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV009780795 |
| classification_rvk | ZN 4900 |
| classification_tum | ELT 280d |
| ctrlnum | (OCoLC)35545763 (DE-599)BVBBV009780795 |
| discipline | Elektrotechnik Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02457nam a2200589 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV009780795</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19941012 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">940822s1994 gw d||| mm|| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">941548317</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3183184095</subfield><subfield code="9">3-18-318409-5</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)35545763</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV009780795</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-210</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 4900</subfield><subfield code="0">(DE-625)157417:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 280d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Weide, Kirsten</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Untersuchungen von Stromdichte-, Temperatur- und Massenflussverteilungen in Viastrukturen integrierter Schaltungen</subfield><subfield code="c">Kirsten Weide</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Düsseldorf</subfield><subfield code="b">VDI-Verl.</subfield><subfield code="c">1994</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">VII, 109 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9]</subfield><subfield code="v">184</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Hannover, Univ., Diss.</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">VLSI</subfield><subfield code="0">(DE-588)4117388-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">LSI</subfield><subfield code="0">(DE-588)4168200-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mehrschichtschaltung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169321-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Durchkontaktieren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150891-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Elektromigration</subfield><subfield code="0">(DE-588)4296761-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Metallisieren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169599-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">LSI</subfield><subfield code="0">(DE-588)4168200-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Mehrschichtschaltung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169321-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Metallisieren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169599-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Durchkontaktieren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150891-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Elektromigration</subfield><subfield code="0">(DE-588)4296761-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">VLSI</subfield><subfield code="0">(DE-588)4117388-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Mehrschichtschaltung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169321-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Metallisieren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169599-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Durchkontaktieren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150891-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="4"><subfield code="a">Elektromigration</subfield><subfield code="0">(DE-588)4296761-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">9]</subfield><subfield code="t">Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI</subfield><subfield code="v">184</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV047505631</subfield><subfield code="9">184</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">HBZ Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006472058&sequence=000002&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006472058</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV009780795 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:40:47Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3183184095 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006472058 |
| oclc_num | 35545763 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-210 DE-83 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-210 DE-83 |
| physical | VII, 109 S. graph. Darst. |
| publishDate | 1994 |
| publishDateSearch | 1994 |
| publishDateSort | 1994 |
| publisher | VDI-Verl. |
| record_format | marc |
| series2 | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9] |
| spelling | Weide, Kirsten Verfasser aut Untersuchungen von Stromdichte-, Temperatur- und Massenflussverteilungen in Viastrukturen integrierter Schaltungen Kirsten Weide Als Ms. gedr. Düsseldorf VDI-Verl. 1994 VII, 109 S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9] 184 Zugl.: Hannover, Univ., Diss. VLSI (DE-588)4117388-0 gnd rswk-swf LSI (DE-588)4168200-2 gnd rswk-swf Mehrschichtschaltung (DE-588)4169321-8 gnd rswk-swf Durchkontaktieren (DE-588)4150891-9 gnd rswk-swf Elektromigration (DE-588)4296761-2 gnd rswk-swf Metallisieren (DE-588)4169599-9 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content LSI (DE-588)4168200-2 s Mehrschichtschaltung (DE-588)4169321-8 s Metallisieren (DE-588)4169599-9 s Durchkontaktieren (DE-588)4150891-9 s Elektromigration (DE-588)4296761-2 s DE-604 VLSI (DE-588)4117388-0 s 9] Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI 184 (DE-604)BV047505631 184 HBZ Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006472058&sequence=000002&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Weide, Kirsten Untersuchungen von Stromdichte-, Temperatur- und Massenflussverteilungen in Viastrukturen integrierter Schaltungen VLSI (DE-588)4117388-0 gnd LSI (DE-588)4168200-2 gnd Mehrschichtschaltung (DE-588)4169321-8 gnd Durchkontaktieren (DE-588)4150891-9 gnd Elektromigration (DE-588)4296761-2 gnd Metallisieren (DE-588)4169599-9 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4117388-0 (DE-588)4168200-2 (DE-588)4169321-8 (DE-588)4150891-9 (DE-588)4296761-2 (DE-588)4169599-9 (DE-588)4113937-9 |
| title | Untersuchungen von Stromdichte-, Temperatur- und Massenflussverteilungen in Viastrukturen integrierter Schaltungen |
| title_auth | Untersuchungen von Stromdichte-, Temperatur- und Massenflussverteilungen in Viastrukturen integrierter Schaltungen |
| title_exact_search | Untersuchungen von Stromdichte-, Temperatur- und Massenflussverteilungen in Viastrukturen integrierter Schaltungen |
| title_full | Untersuchungen von Stromdichte-, Temperatur- und Massenflussverteilungen in Viastrukturen integrierter Schaltungen Kirsten Weide |
| title_fullStr | Untersuchungen von Stromdichte-, Temperatur- und Massenflussverteilungen in Viastrukturen integrierter Schaltungen Kirsten Weide |
| title_full_unstemmed | Untersuchungen von Stromdichte-, Temperatur- und Massenflussverteilungen in Viastrukturen integrierter Schaltungen Kirsten Weide |
| title_short | Untersuchungen von Stromdichte-, Temperatur- und Massenflussverteilungen in Viastrukturen integrierter Schaltungen |
| title_sort | untersuchungen von stromdichte temperatur und massenflussverteilungen in viastrukturen integrierter schaltungen |
| topic | VLSI (DE-588)4117388-0 gnd LSI (DE-588)4168200-2 gnd Mehrschichtschaltung (DE-588)4169321-8 gnd Durchkontaktieren (DE-588)4150891-9 gnd Elektromigration (DE-588)4296761-2 gnd Metallisieren (DE-588)4169599-9 gnd |
| topic_facet | VLSI LSI Mehrschichtschaltung Durchkontaktieren Elektromigration Metallisieren Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006472058&sequence=000002&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV047505631 |
| work_keys_str_mv | AT weidekirsten untersuchungenvonstromdichtetemperaturundmassenflussverteilungeninviastrukturenintegrierterschaltungen |