Oxydativer Abbau von Polymethylmethacrylat (PMMA) beim Plasmaätzen:
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4
INHALTSVERZEICHNIS
1. EINORDNUNG UND ZIELSTELLUNG DER ARBEIT . ?
2
.
KENNTNISSTAND ZUR PLASMASTRUKTURIERUNG VON POLYMERWERKSTOFFEN
2.1. CHEMISCHER MECHANISMUS DES POLYMERABBAUS UND EINFLUSS DER
POLYMERSTRUKTUR . 9
2.2. EINFLUSSNAHME VON PROZESSPARAMCTEM
2.21. KONZENTRATION NEUTRALER REAKTIVER SPEZIES . 13
2.2.2. IONENSTROM UND LONENENERGIE . 1
2.2.3. EINFLUSS DER SUBSTRATTEMPERATUR . 19
3. VERSUCHSANORDNUNG ZUM AETZEN VON POLYMETHYLMATHACRYLAT
3.1. BILANZIERUNG PLASMACHEMISCHER STOFFWANDLUNGSPROZESSE . 22
3.2. HOCHRATEAETZREAKTOR . 24
3.3. REAKTOR-UND MASSENSPEKTROMETERPUMPSTAND . 27
3.4. STEUER-UND MESSELEKTRONIK . 30
3.5. MESSREGIME . 32
4. VERSUCHSERGEBNISSE UND DISKUSSION
4.1. MATHEMATISCHE BESCHREIBUNG DER AETZVORGAENGC . 36
4.2. EINFLUSSNAHME DER AEUSSEREN REAKTORPARAMETER AUF DIE POLYMERABBAURATC
4.2.1. PROZESSGASDURCHSATZ . 46
4.2.2. HF-LEISTUNGSDICHTE .
48
4.2.3. REAKTORTOTALDRUCK . 49
4.2.4. SUBSTRATTEMPERATUR .
4.3. BEINFLUSSUNG DER NEUTRALGASZUSAMMENSETZUNG DURCH DIE
PROZESSPARAMETER
4.3.1. PROZESSGASDURCHSATZ . 32
4.3.2. HF-LEISTUNGSDICHTE UND REAKTORTOTALDRUCK. 35
4.4. QUANTITATIVE BILANZIERUNG DER AETZPROZESSE
4.4.1. GASABSTROM VOM AETZREAKTOR . 38
4.4.2. BRUTTOSTOECHIOMETRIE DER NEUTRALGASE . 60
4.4.3. BILANZIERUNG DER IONENKOMPONENTE 65
4.5. EINFLUSSNAHME UNTERSCHIEDLICHER ELEKTRODCNMATERIALICN . 68
5. PLASMADIAGNOSTIK AN HF-ENTLADUNGEN
5.1. PLASMARANDSCHICHTEN
5.1.1. PHYSIKALISCHE CHARAKTERISIERUNG VON PLASMARANDSCHICHTEN . 69
5.1.2 KENNTNISSTAND ZUM IONENTRANSPORT IN PLASMARANDSCHICHTEN . 72
5.2. EXPERIMENTELLE ANORDNUNG
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/941304868
5
5.2.1. PLASMAMONITOR EQP 300 . 80
5.2.2. ENTLADUNGSANORDNUNG . 84
5.3. MATHEMATISCHE BESCHREIBUNG DES IONCNTRANSPORTMCCHANISMUS . 88
5.4. EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE
5.4.1. ARGON-ENTLADUNGEN . 93
5.4.2. SAUERSTOFF-ENTLADUNGEN . 102
5.4.3. PROZESSANALYTIK IN EINER METHACRYLSAEREMETHYLESTER-(MMA)-ENTLADUNG
ZUR SCHICHTAB
SCHEIDUNG . 105
6. ZUSAMMENFASSUNG 110
LITERATUR . 112
THESEN . 117 |
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