Oberflächenfeinbearbeitung keramischer Werkstoffe mit XeCl-Excimerlaserstrahlung:
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| Format: | Thesis Book |
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| Published: |
München ; Wien
Carl Hanser Verlag
1994
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| Series: | Fertigungstechnik Erlangen
39 |
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| Online Access: | Volltext Volltext Volltext Volltext Inhaltsverzeichnis |
| Physical Description: | 187 Seiten Illustrationen, Diagramme |
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7
INHALT
S
VERZEICHNIS
FORMELZEICHEN,
INDIZES
UND
ABKUERZUNGEN
11
1
EINFUEHRUNG
17
2
STAND
DER
TECHNIK
19
2.1
KERAMISCHE
WERKSTOFFE
.
19
2.2
WECHSELWIRKUNG
VON
LASERSTRAHLUNG
MIT
KERAMISCHEN
WERKSTOFFEN
.
.
22
2.3
COJ
UND
ND:YAG-LASERSTRAHLBEARBEITUNG
.
24
2.3.1
MODELLIERUNG
DER
WECHSELWIRKUNG
.
24
2.3.2
BEARBEITUNG
KERAMISCHER
WERKSTOFFE
.
25
2.4
EXCIMERLASERSTRAHLBEARBEITUNG
.
28
2.4.1
EXCIMERLASER
.
28
2.4.2
STRAHLFUEHRUNG
UND
-FORMUNG
.
29
2.4.3
STRAHLDIAGNOSTIK
.
29
2.4.4
MODELLIERUNG
.
30
2.4.5
DIAGNOSTIK
DES
LASERINDUZIERTEN
PLASMAS
.
30
2.4.6
OBERFLAECHENMODIFIKATION
KERAMISCHER
WERKSTOFFE
.
31
2.4.7
ABTRAGEN
UND
SCHNEIDEN
KERAMISCHER
WERKSTOFFE
.
32
3
ZIELSETZUNG
DER
ARBEIT
35
8
INHALTSVERZEICHNIS
4
VERSUCHSEINRICHTUNG
UND
-DURCHFUEHRUNG
37
4.1
EXCIMERLASER
.
37
4.2
STRAHLFUEHRUNG
UND
-FORMUNG
.
39
4.3
ZWEISTRAHLTECHNIK
.
41
4.4
FUEHRUNGSMASCHINE
.
42
4.5
STEUERUNG
.
43
4.6
ANLAGEN
UND
PROZESSDIAGNOSTIK
.
44
4.6.1
STRAHLDIAGNOSTIK
.
44
4.6.2
WERKSTUECKBEOBACHTUNG
.
45
4.6.3
PROZESSDIAGNOSTIK
.
46
4.7
VERSUCHSWERKSTOFFE
.
47
4.8
WERKSTUECKCHARAKTERISIERUNG
.
48
5
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
STRAHLDIAGNOSTIK
49
5.1
PULSENERGIE
UND
PULSFORM
.
49
5.2
STRAHLAUSBREITUNG
UND
STRAHLLAGE
.
51
5.2.1
FREILAUFENDER
LASERSTRAHL
.
51
5.2.2
FOKUSSIERTER
LASERSTRAHL
.
55
5.3
INTENSITAETSVERTEILUNG
.
.
56
5.3.1
STRAHLQUALITAET
.
56
5.3.2
MESSUNGEN
MIT
EINZELDETEKTOREN
.
58
5.3.3
MESSUNGEN
MIT
CCD-KAMERA
.
62
6
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
WECHSELWIRKUNG
65
6.1
PROZESSMODELL
.
65
6.2
TEMPERATURBERECHNUNG
.
66
6.3
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNGEN
.
72
INHALTSVERZEICHNIS
9
6.3.1
KURZZEITPHOTOGRAPHIE
.
73
6.3.2
OPTISCHE
EMISSIONSSPEKTROSKOPIE
.
84
7
OBERFLAECHENMODIFIKATION
87
7.1
VERAENDERUNG
DER
TOPOGRAPHIE
.
87
7.1.1
GRUNDLAGEN
.
87
7.1.2
GROSSFLAECHIGE
BEARBEITUNG
.
96
7.2
VERAENDERUNG
DER
ZUSAMMENSETZUNG
.
98
7.3
FESTIGKEIT
.
98
8
ABTRAGENDE
BEARBEITUNG
101
8.1
BEARBEITUNG
EBENER
WERKSTUECKE
.
101
8.1.1
EINFLUSS
DES
WERKSTOFFS
.
102
8.1.2
EINFLUSS
DER
WERKSTUECKTEMPERATUR
.
110
8.1.3
EINFLUSS
VON
WELLENLAENGE,
PULSDAUER,
PULSFREQUENZ
UND
BEAR
BEITUNGSGASEN
.
112
8.1.4
EINFLUSS
DER
STRAHLFUEHRUNG
.
113
8.1.5
HERSTELLUNG
KOMPLEXER
STRUKTUREN
.
121
8.2
BEARBEITUNG
RAEUMLICHER
WERKSTUECKE
.
123
8.2.1
EINFLUSS
EINER
WERKSTUECKVERKIPPUNG
.
123
8.2.2
EXCIMERLASERSTRAHL-MIKRODREHEN
ZYLINDRISCHER
WERKSTUECKE
.
.
.
126
8.3
FEINSTRUKTURIERUNG
.
130
8.3.1
EINFLUSS
DER
LASERPARAMETER
.
131
8.3.2
EINFLUSS
DER
BESTRAHLTEN
FLAECHE
.
136
8.3.3
FEINSTRUKTURIERUNG
GROSSER
FLAECHEN
.
138
8.4
FOLGERUNGEN
FUER
DIE
ANWENDUNG
.
140
9
ZUSAMMENFASSUNG
143
10
INHALTSVERZEICHNIS
LITERATURVERZEICHNIS
147
A
KENNWERTE
KERAMISCHER
WERKSTOFFE
161
A.L
THERMOPHYSIKALISCHE
KENNWERTE
.
161
A.2
OPTISCHE
KENNWERTE
.
164
B
STRAHLFUEHRUNG
165
B.L
LINSEN
.
165
B.2
AUSBLENDUNG
DES
INHOMOGENEN
RANDBEREICHS
.
165
B.3
MASKENPROJEKTION
.
166
C
MASKEN
169
D
DETEKTOREN
FUER
EXCIMERLASERSTRAHLUNG
171
D.L
PYROELEKTRISCHE
DETEKTOREN
.
171
D.2
QUANTENDETEKTOREN
.
173
E
DIAGNOSTIK
DER
INTENSITAETSVERTEILUNG
175
E.L
DIAGNOSTIK
MIT
PHOTODIODE
UND
FASERABTASTUNG
.
176
E.2
DIAGNOSTIK
MIT
WAERMEEMPFINDLICHEM
PAPIER
.
176
E.3
DIAGNOSTIK
MIT
CCD-KAMERA
.
177
F
STRAHLDIVERGENZ
180
G
WERKSTUECKBEOBACHTUNG
183
G.L
AUFLOESUNG
.
184
G.2
ANSTEUERSCHALTUNG
.
184
H
FESTIGKEIT
KERAMISCHER
WERKSTOFFE
186 |
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