Messung und Modellierung absoluter Radikaldichten in einem ECR-Methanplasma:
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| Published: |
Garching bei München
Max-Planck-Inst. für Plasmaphysik
1993
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| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Max-Planck-Institut für Plasmaphysik <Garching, München>: IPP-Bericht / 4
262 |
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| Item Description: | Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 1993. - Zsfassung in engl. Sprache |
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