Laserbehandlung von Siliziumnitrid-Siliziumoxid-Silizium-Strukturen für MIS-Inversionsschicht-Solarzellen:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1994
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 117 S. zahlr. graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV009589891 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 940511s1994 d||| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 941439585 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)75479686 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV009589891 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-29 |a DE-29T |a DE-91 |a DE-12 |a DE-634 |a DE-83 |a DE-11 | ||
| 084 | |a ERG 940d |2 stub | ||
| 084 | |a ELT 299d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Meixner, Josef |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Laserbehandlung von Siliziumnitrid-Siliziumoxid-Silizium-Strukturen für MIS-Inversionsschicht-Solarzellen |c von Josef Meixner |
| 264 | 1 | |c 1994 | |
| 300 | |a 117 S. |b zahlr. graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 1994 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Laserbearbeitung |0 (DE-588)4139080-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Solarzelle |0 (DE-588)4181740-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Siliciumbauelement |0 (DE-588)4181368-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a MIS |0 (DE-588)4139664-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Elektrische Eigenschaft |0 (DE-588)4193812-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Grenzfläche |0 (DE-588)4021991-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Inversionsschichtsolarzelle |0 (DE-588)4162238-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mehrschichtsystem |0 (DE-588)4244347-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Inversionsschichtsolarzelle |0 (DE-588)4162238-8 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Siliciumbauelement |0 (DE-588)4181368-6 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Laserbearbeitung |0 (DE-588)4139080-5 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Solarzelle |0 (DE-588)4181740-0 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a MIS |0 (DE-588)4139664-9 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Mehrschichtsystem |0 (DE-588)4244347-7 |D s |
| 689 | 1 | 3 | |a Grenzfläche |0 (DE-588)4021991-4 |D s |
| 689 | 1 | 4 | |a Elektrische Eigenschaft |0 (DE-588)4193812-4 |D s |
| 689 | 1 | 5 | |a Laserbearbeitung |0 (DE-588)4139080-5 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006338484&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006338484 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1807324187257208832 |
|---|---|
| adam_text |
2
INHALTSVERZEICHNIS
SEITE
1.
EINLEITUNG
.
S
2.
GRUNDLAGEN
ZUR
LASERMATERIALBEARBEITUNG
AN
DER
METALL/ISOLATOR/SILIZIUM
(MLS)-INVERSIONSSCHICHT-SOLARZELLE
.
8
2.1.
AUFBAU
UND
FUNKTION
DER
MLS-INVERSIONSSCHICHT-SOLARZELLE
.
8
2.2.
BERECHNUNG
DER
TEMPERATURPROFILE
BEI
LASERBESTRAHLUNG
.
10
2.3.
THERMISCH
AKTIVIERTE
REAKTIONEN
BEI
LASERBESTRAHLUNG
.
13
3.
EXPERIMENTELLES.
.
1
5
3.1.
PROBENHERSTELLUNG
.
15
3.2.
VERWENDETE
LASER.
.
17
3.2.1.
EXCIMERLASER
.
17
3.2.2.
ND:YAG-LASER
.
17
3.2.3.
RUBINLASER
.
18
3.2.4.
COJ-LASER.
.
18
3.3.
PROBENKAMMER
FUER
LASER-OXIDATION
.
18
3.4.
MESSVERFAHREN
.
19
3.4.1.
HELLKENNLINIE
VON
SOLARZELLEN
.
19
3.4.2.
C(U)-MESSUNG
.
21
3.4.2.1.
ERMITTLUNG
DER
GRENZFLAECHENZUSTANDSDICHTE
.
22
3.4.2.2.
BESTIMMUNG
DER
POSITIVEN
LADUNGSDICHTE
.
25
3.4.2.3.
ERMITTLUNG
DES
INVERSIONSSCHICHTWIDERSTANDES.
.
25
3.4.3.
UV/VIS-TRANSMISSIONSMESSUNG
UND
SPEKTROSKOPISCHE
ELLIPSOMETERMESSUNG
.
27
3.4.4.
FOURIER-TRANSFORM-INFRAROT
(FTIR)-TRANSMISSIONSMESSUNGEN
.
29
4.
THERMISCH
AKTIVIERTES
AUSHEILEN
VON
GRENZFLAECHENZUSTAENDEN
MIT
HILFE
VON
LASERSTRAHLUNG
.
31
4.1.
PROBLEMSTELLUNG
.
31
4.2.
RANDBEDINGUNGEN
ZUR
TEMPERATURBEHANDLUNG
DER
SOLARZELLE
MIT
EINEM
LASER.
.
32
4.3.
ERGEBNISSE
ZUM
ZEITLICHEN
AUSHEILVERHALTEN
UND
BESTIMMUNG
DER
3
AKTIVIERUNGSENERGIE
.
36
4.4.
EXTRAPOLATION
DES
AUSHEILVERHALTENS
AUF
KLEINE
ZEITEN
.
39
4.5.
BESTRAHLUNG
VON
SILIZIUMNITRID/SILIZIUMOXID/SILIZIUM-STRUKTUREN
MIT
KURZPULSLASEM
.
41
4.5.1.
EXCIMERLASER-BESTRAHLUNG
.
41
4.5.1.1
TEMPERATURPROFILBERECHNUNGEN
.
41
4.5.1.2
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
.
42
4.5.2.
ND:YAG-LASER-BESTRAHLUNG
.
44
4.5.3.
RUBINLASERBESTRAHLUNG
.
45
4.5.3.1.
TEMPERATURPROFILBERECHNUNGEN
.
46
4.5.3.2.
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
.
47
4.6.
AUSHEILUNG
MIT
CO2-LASER
.
48
4.6.1.
ABSORPTIONSVERHALTEN
UND
TEMPERATURPROFILE
.
48
4.6.2.
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
.
51
4.7.
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
53
5.
LASERUNTERSTUETZTE
OXIDATION
VON
SILIZIUM
.
55
5.1.
PROZESSSCHRITTE
.
57
5.2.
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
.
58
5.2.1.
ABHAENGIGKEIT
DES
OXIDWACHSTUMS
VON
DER
ENERGIEDICHTE
DER
LASERPULSE.59
5.2.2.
ABHAENGIGKEIT
DES
OXIDWACHSTUMS
VON
DER
LASERPULSZAHL
.
61
5.2.2.1.
OXIDWACHSTUM
BEI
DIREKTER
BESTRAHLUNG
.
61
5.2.2.2.
OXIDWACHSTUM
BEI
INDIREKTER
BESTRAHLUNG
.
62
5.2.3.
ABHAENGIGKEIT
DES
OXIDWACHSTUMS
VON
DER
SUBSTRATTEMPERATUR.
.
64
5.2.4.
GRENZFLAECHENZUSTANDDICHTE
UND
POSITIVE
LADUNGSDICHTE
.
66
5.2.4.I.
OXIDATION
BEI
150C
SUBSTRATTEMPERATUR
.
66
5.2.4.2.
OXIDATION
BEI
400C
UND
500C
SUBSTRATTEMPERATUR
.
67
5.2.4.3.
OXIDATION
BEI
PARALLEL
ZUR
PROBENOBERFLAECHE
EINFALLENDEN
LASERSTRAHL
.
70
5.2.4.4.
PASSIVIERUNG
DURCH
NITRIDABSCHEIDUNG
BEI
400C
.
72
5.2.5.
SCHWINGUNGSSPEKTRUM
DER
SI-O-BINDUNGEN
.
73
5.3.
ZUSAMMENFASSUNG
LASEROXIDATION
.
75
6.
UV-BESTRAHLUNG
VON
SILIZIUMNITRIDSCHICHTEN
MIT
DISKRETEN
WELLENLAENGEN
EINES
EXCIMERLASERS
.
77
6.1
VERSUCHSBEDINGUNGEN
UND
AUSWERTEVERFAHREN
.
79
6.1.1.
PROBENSTRUKTUREN
.
79
6.1.2.
LASER-UV-BESTRAHLUNGSBEDINGUNGEN
.
80
4
6.1.3.
NORMIERUNG
AUF
ABSORBIERTE
UND
TRANSMITTIERTE
PHOTONENDICHTEN
.
81
6.2.
MESSERGEBNISSE
.
83
6.2.1.
DEGRADATION
VON
SOLARZELLEN
.
83
6.2.2.
GRENZFLAECHENEIGENSCHAFTEN
AUS
C(U)-MESSUNG
.
85
6.2.3.
AENDERUNG
DER
OPTISCHEN
EIGENSCHAFTEN
VON
SILIZIUMNITRIDSCHICHTEN
IM
UV/VIS-SPEKTRALBEREICH
.
88
6.2.4.
BINDUNGSKONZENTRATIONEN
AUS
IR-TRANSMISSIONSMESSUNGEN
.
91
6.2.4.1.
EXCIMERLASER-UV
-BESTRAHLUNG
.
92
6.2.4.2.
WAERMEBEHANDLUNG
NACH
UV-SCHAEDIGUNG
.
96
6.3.
DISKUSSION
UND ZUSAMMENFASSUNG
.
97
6.3.1.
UV-EINFLUSS
AUF
DIE
GRENZFLAECHENEIGENSCHAFTEN
.
97
6.3.2.
UNTERSCHIEDE
ZWISCHEN
VERSCHIEDENEN
WELLENLAENGEN
.
102
6.3.3.
KORRELATION
DER
VERAENDERUNGEN
AN
DER
GRENZFLAECHE
MIT
DEN
BINDUNGSAUFBRUECHEN
IM
VOLUMEN
DES
NITRIDS
.
103
6.3.4.
VERGLEICH
DER
ABSORPTIONSKONSTANTEN
IM
SICHTBAREN
UND
UV-BEREICH
MIT
DEM
BINDUNGSAUFBRUCH
BEI
UV-BESTRAHLUNG
.
104
7.
ZUSAMMENFASSUNG
.
106
8.
LITERATURVERZEICHNIS
.
110
9.
ANHANG
.
117 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Meixner, Josef |
| author_facet | Meixner, Josef |
| author_role | aut |
| author_sort | Meixner, Josef |
| author_variant | j m jm |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV009589891 |
| classification_tum | ERG 940d ELT 299d |
| ctrlnum | (OCoLC)75479686 (DE-599)BVBBV009589891 |
| discipline | Energietechnik, Energiewirtschaft Elektrotechnik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV009589891</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">940511s1994 d||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">941439585</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75479686</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV009589891</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ERG 940d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 299d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Meixner, Josef</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Laserbehandlung von Siliziumnitrid-Siliziumoxid-Silizium-Strukturen für MIS-Inversionsschicht-Solarzellen</subfield><subfield code="c">von Josef Meixner</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1994</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">117 S.</subfield><subfield code="b">zahlr. graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 1994</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Laserbearbeitung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4139080-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Solarzelle</subfield><subfield code="0">(DE-588)4181740-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Siliciumbauelement</subfield><subfield code="0">(DE-588)4181368-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">MIS</subfield><subfield code="0">(DE-588)4139664-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Elektrische Eigenschaft</subfield><subfield code="0">(DE-588)4193812-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Grenzfläche</subfield><subfield code="0">(DE-588)4021991-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Inversionsschichtsolarzelle</subfield><subfield code="0">(DE-588)4162238-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mehrschichtsystem</subfield><subfield code="0">(DE-588)4244347-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Inversionsschichtsolarzelle</subfield><subfield code="0">(DE-588)4162238-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Siliciumbauelement</subfield><subfield code="0">(DE-588)4181368-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Laserbearbeitung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4139080-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Solarzelle</subfield><subfield code="0">(DE-588)4181740-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">MIS</subfield><subfield code="0">(DE-588)4139664-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Mehrschichtsystem</subfield><subfield code="0">(DE-588)4244347-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Grenzfläche</subfield><subfield code="0">(DE-588)4021991-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="4"><subfield code="a">Elektrische Eigenschaft</subfield><subfield code="0">(DE-588)4193812-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="5"><subfield code="a">Laserbearbeitung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4139080-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006338484&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006338484</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV009589891 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-14T01:24:16Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006338484 |
| oclc_num | 75479686 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29 DE-29T DE-91 DE-BY-TUM DE-12 DE-634 DE-83 DE-11 |
| owner_facet | DE-29 DE-29T DE-91 DE-BY-TUM DE-12 DE-634 DE-83 DE-11 |
| physical | 117 S. zahlr. graph. Darst. |
| publishDate | 1994 |
| publishDateSearch | 1994 |
| publishDateSort | 1994 |
| record_format | marc |
| spelling | Meixner, Josef Verfasser aut Laserbehandlung von Siliziumnitrid-Siliziumoxid-Silizium-Strukturen für MIS-Inversionsschicht-Solarzellen von Josef Meixner 1994 117 S. zahlr. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 1994 Laserbearbeitung (DE-588)4139080-5 gnd rswk-swf Solarzelle (DE-588)4181740-0 gnd rswk-swf Siliciumbauelement (DE-588)4181368-6 gnd rswk-swf MIS (DE-588)4139664-9 gnd rswk-swf Elektrische Eigenschaft (DE-588)4193812-4 gnd rswk-swf Grenzfläche (DE-588)4021991-4 gnd rswk-swf Inversionsschichtsolarzelle (DE-588)4162238-8 gnd rswk-swf Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Inversionsschichtsolarzelle (DE-588)4162238-8 s Siliciumbauelement (DE-588)4181368-6 s Laserbearbeitung (DE-588)4139080-5 s DE-604 Solarzelle (DE-588)4181740-0 s MIS (DE-588)4139664-9 s Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 s Grenzfläche (DE-588)4021991-4 s Elektrische Eigenschaft (DE-588)4193812-4 s DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006338484&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Meixner, Josef Laserbehandlung von Siliziumnitrid-Siliziumoxid-Silizium-Strukturen für MIS-Inversionsschicht-Solarzellen Laserbearbeitung (DE-588)4139080-5 gnd Solarzelle (DE-588)4181740-0 gnd Siliciumbauelement (DE-588)4181368-6 gnd MIS (DE-588)4139664-9 gnd Elektrische Eigenschaft (DE-588)4193812-4 gnd Grenzfläche (DE-588)4021991-4 gnd Inversionsschichtsolarzelle (DE-588)4162238-8 gnd Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4139080-5 (DE-588)4181740-0 (DE-588)4181368-6 (DE-588)4139664-9 (DE-588)4193812-4 (DE-588)4021991-4 (DE-588)4162238-8 (DE-588)4244347-7 (DE-588)4113937-9 |
| title | Laserbehandlung von Siliziumnitrid-Siliziumoxid-Silizium-Strukturen für MIS-Inversionsschicht-Solarzellen |
| title_auth | Laserbehandlung von Siliziumnitrid-Siliziumoxid-Silizium-Strukturen für MIS-Inversionsschicht-Solarzellen |
| title_exact_search | Laserbehandlung von Siliziumnitrid-Siliziumoxid-Silizium-Strukturen für MIS-Inversionsschicht-Solarzellen |
| title_full | Laserbehandlung von Siliziumnitrid-Siliziumoxid-Silizium-Strukturen für MIS-Inversionsschicht-Solarzellen von Josef Meixner |
| title_fullStr | Laserbehandlung von Siliziumnitrid-Siliziumoxid-Silizium-Strukturen für MIS-Inversionsschicht-Solarzellen von Josef Meixner |
| title_full_unstemmed | Laserbehandlung von Siliziumnitrid-Siliziumoxid-Silizium-Strukturen für MIS-Inversionsschicht-Solarzellen von Josef Meixner |
| title_short | Laserbehandlung von Siliziumnitrid-Siliziumoxid-Silizium-Strukturen für MIS-Inversionsschicht-Solarzellen |
| title_sort | laserbehandlung von siliziumnitrid siliziumoxid silizium strukturen fur mis inversionsschicht solarzellen |
| topic | Laserbearbeitung (DE-588)4139080-5 gnd Solarzelle (DE-588)4181740-0 gnd Siliciumbauelement (DE-588)4181368-6 gnd MIS (DE-588)4139664-9 gnd Elektrische Eigenschaft (DE-588)4193812-4 gnd Grenzfläche (DE-588)4021991-4 gnd Inversionsschichtsolarzelle (DE-588)4162238-8 gnd Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 gnd |
| topic_facet | Laserbearbeitung Solarzelle Siliciumbauelement MIS Elektrische Eigenschaft Grenzfläche Inversionsschichtsolarzelle Mehrschichtsystem Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006338484&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT meixnerjosef laserbehandlungvonsiliziumnitridsiliziumoxidsiliziumstrukturenfurmisinversionsschichtsolarzellen |