Konzeption, Entwicklung und Realisierung einer Mikromembranpumpe in LIGA-Technik:
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| Language: | German |
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Karlsruhe
Kernforschungszentrum Karlsruhe
1993
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| Edition: | Als Ms. gedr. |
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
.
1
2
KONZEPTION
EINER
LIGA-MIKROPUMPE
.
7
3
DIMENSIONIERUNG
DER
MIKROPUMPEN
.
10
3.1
PUMPENKAMMER
UND
PUMPENMEMBRAN
.
10
3.1.1
FORMELN
FUER
DIE
MEMBRANAUSLENKUNG
.
10
3.1.2
DISKUSSION
VERSCHIEDENER
MEMBRANMATERIALIEN
.
11
3.1.3
DIMENSIONIERUNG
.
13
3.2
KANAELE
.
15
3.3
GESAMTABMESSUNGEN
DER
PUMPE
.
18
4
PUMPENKAMMER
MIT
PUMPENMEMBRAN
.
19
4.1
HERSTELLUNG
VON
POLYIMIDMEMBRANEN
.
19
4.2
HERSTELLUNG
VON
HOHLSTRUKTUREN
MIT
FLEXIBLER
MEMBRAN
.
21
4.2.1
AUFBAUDER
MIKROSTRUKTUREN
AUF
EINER
MEMBRAN
.
21
4.2.1.1
HOHLSTRUKTUREN
MIT
TITANMEMBRAN
.
22
4.2.1.2
HOHLSTRUKTUREN
MIT
POLYIMIDMEMBRAN
.
25
4.2.2
VERKLEBEN
DER
MIKROSTRUKTUREN
AUF
EINE
MEMBRAN
.
26
4.2.3
MATERIALAUSWAHL
FUER
DIE
MIKROSTRUKTUREN
.
29
4.2.3.1
MIKROSTRUKTUREN
AUS
KUPFER
.
29
4.2.3.2
MIKROSTRUKTUREN
AUS
GOLD
.
31
4.3
EXPERIMENTELLE
ERMITTLUNG
DER
MEMBRANEIGENSCHAFTEN
.
32
4.3.1
MESSMETHODEN
.
33
4.3.1.1
STATISCHE
MESSUNG
.
33
4.3.1.2
DYNAMISCHE
MESSUNG
.
34
4.3.2
MESSUNGEN
AN
MEMBRANEN
.
34
4.3.2.1
MESSUNGEN
AN
TITANMEMBRANEN
.
34
4.3.2.2
MESSUNGEN
AN
POLYIMIDMEMBRANEN
.
38
4.3.2.3
VERGLEICH
DER
MEMBRANMATERIALIEN
.
39
5
VENTILE
.
41
5.1
GRUNDPRINZIP
DER
VENTILE
.
42
5.2
HERSTELLUNGSVERFAHREN
.
43
5.2.1
VENTILE
IN
DUENNFILMTECHNIK
.
43
5.2.2
GALVANISIERTE
VENTILE
.
45
5.3
OPFERSCHICHTMATERIALIEN
.
47
5.3.1
OPFERSCHICHT
AUS
KUPFER
.
47
5.3.2
OPFERSCHICHT
AUS
ALUMINIUM
.
48
5.4
VENTILTYPEN
.
49
5.5
MESSUNGEN
MIT
GAS
(ARGON)
.
53
5.5.1
MESSVERFAHREN
.
53
5.5.2
MESSERGEBNISSE
.
55
5.6
MESSUNGEN
MIT
FLUESSIGKEIT
(WASSER)
.
61
5.6.1
MESSVERFAHREN
.
61
5.6.2
MESSERGEBNISSE
.
61
5.7
VERGLEICH
DER
VENTILE
.
63
6
PUMPE
.
65
6.1
HERSTELLUNG
UND
MONTAGE
.
65
6.2
VERSUCHSAUFBAU
.
66
6.3
BESTIMMUNG
DES
NORMALGASFLUSSES
.
68
6.4
MESSUNGEN
.
70
6.4.1
GAS
ALS
FOERDERMEDIUM
.
70
6.4.1.1
EINFLUSS
DES
ARBEITSDRUCKS
.
71
6.4.1.2
EINFLUSS
DES
AKTORDRUCKS
.
72
6.4.1.3
EINFLUSS
DER
PUMPFREQUENZ
.
73
6.4.1.4
LEISTUNG
UND
WIRKUNGSGRAD
.
75
6.4.2
FLUESSIGKEIT
ALS
FOERDERMEDIUM
.
77
7
THERMOPNEUMATISCHER
ANTRIEB
.
78
7.1
ANFORDERUNGEN
.
79
7.2
WIRKUNGSPRINZIPIEN
.
79
7.2.1
ERWAERMUNG
EINES
GASES
.
80
7.2.2
VERDAMPFUNG
EINER
FLUESSIGKEIT
.
82
7.3
EXPERIMENTELLEVORUNTERSUCHUNGEN
.
85
7.3.1
BEFUELLUNG
VON
HOHLSTRUKTUREN
.
85
7.3.2
STATISCHE
MESSUNG
DER
MEMBRANAUSLENKUNG
.
86
8
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
88
8.1
ZUSAMMENFASSUNG
.
88
8.2
AUSBLICK
.
92
LITERATURVERZEICHNIS
.
94 |
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