APA-Zitierstil (7. Ausg.)

Middleman, S., & Hochberg, A. K. (1993). Process engineering analysis in semiconductor device fabrication. McGraw-Hill.

Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)

Middleman, Stanley, und Arthur K. Hochberg. Process Engineering Analysis in Semiconductor Device Fabrication. New York, NY u.a: McGraw-Hill, 1993.

MLA-Zitierstil (9. Ausg.)

Middleman, Stanley, und Arthur K. Hochberg. Process Engineering Analysis in Semiconductor Device Fabrication. McGraw-Hill, 1993.