Untersuchung des Aufladungsverhaltens von Isolatoren mit der Augerelektronenspektroskopie am Beispiel von Saphir:
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INHALT
S
VERZEICHNIS
1
EINLEITUNG.
10
2
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN.
14
2.1
WECHSELWIRKUNGEN
EINES
ELEKTRONENSTRAHLS
MIT
MATERIE
.
14
2.2
GRUNDLAGEN
DER
AUGERELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
.
15
2.2.1
BESTIMMUNG
DES
OBERFLAECHENPOTENTIALS
AUS
DEN
SPEKTREN.
.
.
.
16
2.2.2
QUANTITATIVE
AUSWERTUNG
.
18
2.3
DAS
SEKUNDAERELEKTRONEN-EMISSIONSMODELL
.
20
2.4
DER
ELEKTROSTATISCHE
BESCHREIBUNGSANSATZ
.
26
2.5
MIKROSKOPISCHE
URSACHEN
DER
AUFLADUNG
.
27
3
EXPERIMENTELLES.
28
3.1
PROBEN
UND
PROBENPRAEPARATION
.
28
3.2
DAS
VERWENDETE
SPEKTROMETER
.
28
3.2.1
DIE
ELEKTRONENKANONE
.
29
3.2.2
DIE
PROBENHALTERUNG
.
30
3.2.3
DER
ANALYSATOR
.
31
3.2.4
MESSUNG
ZEITABHAENGIGER
AUFLADUNGSVORGAENGE
.
33
3.2.5
MESSUNG
DES
PROBENSTROMS
.
35
4
MESSERGEBNISSE.
36
4.1
AUFLADUNGSVERHALTEN
ALS
FUNKTION
DER
PE-ANREGUNGSPARAMETER.
.
36
4.1.1
AUFLADUNGSVERHALTEN
ALS
FUNKTION
DER
PE-ENERGIE
.
36
4.1.2
AUFLADUNGSVERHALTEN
ALS
FUNKTION
DES
EINSTRAHLWINKELS
.
44
4.1.3
AUFLADUNGSVERHALTEN
ALS
FUNKTION
DER
PE-STROMDICHTE
.
47
4.2
AUSWIRKUNG
EINER
AR-ATMOSPHAERE
AUF
DAS
AUFLADUNGSVERHALTEN.
.
55
4.3
AUSWIRKUNG
VON
AR
+
-SPUTTERN
AUF
DAS
AUFLADUNGSVERHALTEN
.
57
4.4
AUSWIRKUNG
DER
AUFLADUNG
AUF
DIE
QUANTIFIZIERUNG
.
65
5
DAS
DYNAMISCHE
DOPPELLADUNGSSCHICHT-MODELL.
69
5.1
ALLGEMEINE
THEORETISCHE
BESCHREIBUNG
DES
MODELLS.
69
5.2
EXPLIZITE
FORMULIERUNG
DER
TEILKOMPONENTEN
DES
MODELLS
.
72
5.2.1
DIE
PE-REICHWEITE
UND
DIE
POTENTIALBERECHNUNG
.
72
5.2.2
DER
SEKUNDAERELEKTRONENSTROM
I
SE
.
78
5.2.3
DER
RELAXATIONSSTROM
I
R
.
85
5.3
LOESUNGEN
DES
DYNAMISCHEN
DOPPELLADUNGSSCHICHT-MODELLS
.
87
5.3.1
ZEITABHAENGIGE
AUFLADUNG
MIT
VERZOEGERUNGSZEIT
.
88
5.3.2
OBERFLAECHENPOTENTIAL
IM
PLATEAUBEREICH
.
95
5.3.3
RELAXATIONSEFFEKTE
.
100
6
DISKUSSION.
101
6.1
GRENZEN
UND
MOEGLICHE
ERWEITERUNGEN
DES
SE-EMISSIONSMODELLS.
.
.
.
102
6.2
DIE
GRENZEN
UND
ERWEITERUNGSMOEGLICHKEITEN
DES
DDM
.
105
6.3
LOESUNGEN
DES
ERWEITERTEN
DDM
.
108
6.4
PHYSIKALISCHE
INTERPRETATION
EINZELNER
MESSERGEBNISSE
MIT
HILFE
DES
DDM
.
111
6.4.1
STATIONAERES
AUFLADUNGSVERHALTEN
IM
PLATEAUBEREICH
.
112
6.4.2
ZEITABHAENGIGE
AUFLADUNGSPHAENOMENE
.
114
7
ZUSAMMENFASSUNG.
120
A
ANHANG.
124
A.L
VERSCHIEDENE
RECHNUNGEN
ZUR
THEORIE
.
124
A.1.1
BERECHNUNG
DES
POTENTIALS
EINER
ROTATIONSSYMMETRISCHEN
LA
DUNGSVERTEILUNG
.
124
A.L.
2
AUSWIRKUNG
EINER
LOKALISIERTEN
LADUNG
AUF
DIE
REICHWEITE
DER
PE
.
125
A.L.
3
BESTIMMUNG
DER
ABSORPTIONSLAENGEN
FUER
DIE
DOBRETSOV
FORMEL.
126
A.2
MATHEMAT
ICA
NOTEBOOK
ZUR
BERECHNUNG
DES
DDM
.
127
A.3
ASYST
PROGRAMM
LISTING
ZUR
ANSTEUERUNG
DER
IEEE-488
INTERFACE
KARTE
.
130
A.4
LITERATURUEBERSICHT
UEBER
DIE
SE-EMISSION
.
135 |
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