Engelhard, M. (1993). Messung und Modellierung absoluter Radikaldichten in einem ECR-Methanplasma.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Engelhard, Maximilian. Messung Und Modellierung Absoluter Radikaldichten in Einem ECR-Methanplasma. 1993.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Engelhard, Maximilian. Messung Und Modellierung Absoluter Radikaldichten in Einem ECR-Methanplasma. 1993.
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