Entwicklungstendenzen bei Längen- und Winkelmeßsystemen für NC-Werkzeugmaschinen:
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| Published: |
Frankfurt a. M.
VDW
1989
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Seite
I Einleitung 1
II Kriterien und Kenngrößen für Positionsmeßsysteme in WZM 3
1 Meßeigenschaften 3
2 Betriebsbedingungen 9
3 Umgebungsbedingungen und Einflußgrößen 11
4 Einbauort und Einbaubedingungen 12
5 Wichtige Anforderungen für künftige Positionsmeßsysteme 14
III Prinzipien Verfahren und Geräte zur Positionsmessung in WZM 20
1 Optisch-elektrische Verfahren 23
1 1 Optisch-inkrementale Meßsysteme von HEIDENHAIN 24
111 Durchlichtverfahren 24
112 Auflichtverfahren 28
113 Interferentielles Auflichtverfahren 30
1 2 Optisch-inkrementale Längenmeßsysteme von MITUTOYO 32
1 3 Linearmeßsystem von PHILIPS 34
1 4 Holographisch-inkrementale Längenmeßsysteme 36
2 Magnetische Längenmeßsysteme von SONY 37
3 Induktive Längen- und Winkelmeßsysteme 39
4 Laserinterferometer 41
4 1 Prinzip des Laserinterferometers für die Längenmessung 41
4 2 Messung anderer geometrischer Größen mit dem Laserinterferometer 44
4 3 Einflußparameter auf die Meßunsicherheit des Laserinterferometers 46
4 4 Einsatzbereiche des Laserinterferometers 48
IV Bewertung und Entwicklungstendenzen 50
1 Meßsysteme mit verkörperten Teilungen 50
1 1 Längenmeßsysteme 51
1 2 Winkelmeßsysteme 54
2 Lasermeßsysteme als Positionsmeßsysteme in WZM 56
2 1 Laserinterferometer 57
2 2 Mögliche Verfahren zur Korrektur systematischer und 59
zufälliger Abweichungen
2 3 Meßprinzip eines absoluten Laserinterferometers 64
2 4 Laserkreisel / Faserkreisel 67
3 Schlußfolgerungen 69
Seite
V Meßsignalverarbeitung 72
1 Derzeitige Formen der Meßsignale 72
2 Derzeitiger Stand der Meßsignalverarbeitung 73
2 1 Beispiele für Interpolationsverfahren 74
2 2 Maximale Meßgeschwindigkeit 77
2 3 Absolute Meßinformationen 78
2 4 Charakteristische Eigenschaften von Steuerungen zur 79
Meßwertverarbeitung
VI Zusammenfassung 92
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