Gettering and defect engineering in the semiconductor technology: proceedings of the 3rd International Autumn Meeting ... GADEST '89 ; Garzau, German Democratic Republic, October 8 - 13, 1989
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Vaduz Sci-Tech Publ. 1989
Schriftenreihe:Diffusion and defect data / B 6/7 (1989)
Schlagworte:
Beschreibung:Einzelaufnahme eines Zeitschriftenh.
Beschreibung:XI, 607 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:3908044049

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