Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Röntgenzwischenmasken für das LIGA-Verfahren (Kernforschungszentrum, 1993)
Teilw. zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. von K. Kadel, 1993 - Zsfassung in engl. Sprache