Selektive Silizium-Niederdruckepitaxie:
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Eggenstein-Leopoldshafen
Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik
1985
|
| Schriftenreihe: | Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 85,1 -
85,133 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | 89 S. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV009220288 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 940313s1985 |||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)74762900 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV009220288 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-210 | ||
| 100 | 1 | |a Voss, Heinz-Jürgen |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Selektive Silizium-Niederdruckepitaxie |c Heinz-Jürgen Voss ; Hans Kürten* |
| 264 | 1 | |a Eggenstein-Leopoldshafen |b Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik |c 1985 | |
| 300 | |a 89 S. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 85,1 - |v 85,133 | |
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Epitaxie |0 (DE-588)4152545-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Selektive Epitaxie |0 (DE-588)4659870-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 689 | 0 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Selektive Epitaxie |0 (DE-588)4659870-4 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Epitaxie |0 (DE-588)4152545-0 |D s |
| 689 | 1 | |8 1\p |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Kürten, Hans |e Verfasser |4 aut | |
| 810 | 2 | |a Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 85,1 - |t Deutschland <Bundesrepublik> |v 85,133 |w (DE-604)BV000004400 |9 85,133 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006130025 | ||
| 883 | 1 | |8 1\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804123662946664448 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Voss, Heinz-Jürgen Kürten, Hans |
| author_facet | Voss, Heinz-Jürgen Kürten, Hans |
| author_role | aut aut |
| author_sort | Voss, Heinz-Jürgen |
| author_variant | h j v hjv h k hk |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV009220288 |
| ctrlnum | (OCoLC)74762900 (DE-599)BVBBV009220288 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01582nam a2200397 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV009220288</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">940313s1985 |||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)74762900</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV009220288</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-210</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Voss, Heinz-Jürgen</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Selektive Silizium-Niederdruckepitaxie</subfield><subfield code="c">Heinz-Jürgen Voss ; Hans Kürten*</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Eggenstein-Leopoldshafen</subfield><subfield code="b">Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik</subfield><subfield code="c">1985</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">89 S.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 85,1 -</subfield><subfield code="v">85,133</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Epitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152545-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Selektive Epitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4659870-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Selektive Epitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4659870-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Epitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152545-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Kürten, Hans</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 85,1 -</subfield><subfield code="t">Deutschland <Bundesrepublik></subfield><subfield code="v">85,133</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000004400</subfield><subfield code="9">85,133</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006130025</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV009220288 |
| illustrated | Not Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:33:20Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006130025 |
| oclc_num | 74762900 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-210 |
| owner_facet | DE-210 |
| physical | 89 S. |
| publishDate | 1985 |
| publishDateSearch | 1985 |
| publishDateSort | 1985 |
| publisher | Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik |
| record_format | marc |
| series2 | Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 85,1 - |
| spelling | Voss, Heinz-Jürgen Verfasser aut Selektive Silizium-Niederdruckepitaxie Heinz-Jürgen Voss ; Hans Kürten* Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1985 89 S. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 85,1 - 85,133 Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Epitaxie (DE-588)4152545-0 gnd rswk-swf Selektive Epitaxie (DE-588)4659870-4 gnd rswk-swf Silicium (DE-588)4077445-4 s Selektive Epitaxie (DE-588)4659870-4 s DE-604 Epitaxie (DE-588)4152545-0 s 1\p DE-604 Kürten, Hans Verfasser aut Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 85,1 - Deutschland <Bundesrepublik> 85,133 (DE-604)BV000004400 85,133 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
| spellingShingle | Voss, Heinz-Jürgen Kürten, Hans Selektive Silizium-Niederdruckepitaxie Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Epitaxie (DE-588)4152545-0 gnd Selektive Epitaxie (DE-588)4659870-4 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4077445-4 (DE-588)4152545-0 (DE-588)4659870-4 |
| title | Selektive Silizium-Niederdruckepitaxie |
| title_auth | Selektive Silizium-Niederdruckepitaxie |
| title_exact_search | Selektive Silizium-Niederdruckepitaxie |
| title_full | Selektive Silizium-Niederdruckepitaxie Heinz-Jürgen Voss ; Hans Kürten* |
| title_fullStr | Selektive Silizium-Niederdruckepitaxie Heinz-Jürgen Voss ; Hans Kürten* |
| title_full_unstemmed | Selektive Silizium-Niederdruckepitaxie Heinz-Jürgen Voss ; Hans Kürten* |
| title_short | Selektive Silizium-Niederdruckepitaxie |
| title_sort | selektive silizium niederdruckepitaxie |
| topic | Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Epitaxie (DE-588)4152545-0 gnd Selektive Epitaxie (DE-588)4659870-4 gnd |
| topic_facet | Silicium Epitaxie Selektive Epitaxie |
| volume_link | (DE-604)BV000004400 |
| work_keys_str_mv | AT vossheinzjurgen selektivesiliziumniederdruckepitaxie AT kurtenhans selektivesiliziumniederdruckepitaxie |