Beets, D. (1985). Schreibende Elektronenstrahllithographie mit Quasi-Shaped-Beam: Realisierung e. Verfahrens zur Steigerung d. Schreibgeschwindigkeit.
Chicago Style (17th ed.) CitationBeets, Dirk. Schreibende Elektronenstrahllithographie Mit Quasi-Shaped-Beam: Realisierung E. Verfahrens Zur Steigerung D. Schreibgeschwindigkeit. 1985.
MLA (9th ed.) CitationBeets, Dirk. Schreibende Elektronenstrahllithographie Mit Quasi-Shaped-Beam: Realisierung E. Verfahrens Zur Steigerung D. Schreibgeschwindigkeit. 1985.
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