Beets, D. (1985). Schreibende Elektronenstrahllithographie mit Quasi-Shaped-Beam: Realisierung e. Verfahrens zur Steigerung d. Schreibgeschwindigkeit.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Beets, Dirk. Schreibende Elektronenstrahllithographie Mit Quasi-Shaped-Beam: Realisierung E. Verfahrens Zur Steigerung D. Schreibgeschwindigkeit. 1985.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Beets, Dirk. Schreibende Elektronenstrahllithographie Mit Quasi-Shaped-Beam: Realisierung E. Verfahrens Zur Steigerung D. Schreibgeschwindigkeit. 1985.
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