Das thermodynamische Gleichgewicht in Gasphasenepitaxiesystemen zur Abscheidung von ternären InAIP- und InGaP-Mischkristallschichten: Aus d. Inst. für Techn. Elektronik d. TU München
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Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1975
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Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte der VDI-Zeitschriften / 09.
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