Eichinger, P., & Paduschek, P. (1985). Analytik von dielektrischen Schichten für VLSI-Anwendungen: Insbes. Einfluß von Stöchiometrie u. Wasserstoffgehalt auf d. Eigenschaften von Plasmanitridschichten. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik.
Chicago Style (17th ed.) CitationEichinger, Peter, and Peter Paduschek. Analytik Von Dielektrischen Schichten Für VLSI-Anwendungen: Insbes. Einfluß Von Stöchiometrie U. Wasserstoffgehalt Auf D. Eigenschaften Von Plasmanitridschichten. Eggenstein-Leopoldshafen: Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1985.
MLA (9th ed.) CitationEichinger, Peter, and Peter Paduschek. Analytik Von Dielektrischen Schichten Für VLSI-Anwendungen: Insbes. Einfluß Von Stöchiometrie U. Wasserstoffgehalt Auf D. Eigenschaften Von Plasmanitridschichten. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1985.