APA (7th ed.) Citation

Fritzsche, C., & Rothemund, W. (1984). Voruntersuchung über trockene Resisttechniken zur Elektronenstrahl-Lithographie. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Fritzsche, Christian, and Wolfram Rothemund. Voruntersuchung über Trockene Resisttechniken Zur Elektronenstrahl-Lithographie. Eggenstein-Leopoldshafen: Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1984.

MLA (9th ed.) Citation

Fritzsche, Christian, and Wolfram Rothemund. Voruntersuchung über Trockene Resisttechniken Zur Elektronenstrahl-Lithographie. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1984.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.