Asmussen, F., & Sotobayashi, H. (1983). Entwicklung und Untersuchung empfindlicher und prozeßkompatibler Polymere für die Röntgenlithographie. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Asmussen, Frithjof, und Hideto Sotobayashi. Entwicklung Und Untersuchung Empfindlicher Und Prozeßkompatibler Polymere Für Die Röntgenlithographie. Eggenstein-Leopoldshafen: Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1983.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Asmussen, Frithjof, und Hideto Sotobayashi. Entwicklung Und Untersuchung Empfindlicher Und Prozeßkompatibler Polymere Für Die Röntgenlithographie. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1983.
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