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(1983). Weiterentwicklung der Elektronenstrahllithographie. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik.

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Weiterentwicklung Der Elektronenstrahllithographie. Eggenstein-Leopoldshafen: Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1983.

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Weiterentwicklung Der Elektronenstrahllithographie. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1983.

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