Hersener, J., & Zimmermann, H. (1983). Elektronenstrahlbelichtung für hochintegrierte Schaltungen. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Hersener, Jürgen, und Harald Zimmermann. Elektronenstrahlbelichtung Für Hochintegrierte Schaltungen. Eggenstein-Leopoldshafen: Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1983.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Hersener, Jürgen, und Harald Zimmermann. Elektronenstrahlbelichtung Für Hochintegrierte Schaltungen. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1983.
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