Mengel, P., & Tischer, P. (1982). Lackerprobung, Maskenherstellung und Justierung für die Röntgenlithographie. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Mengel, Peter, und Peter Tischer. Lackerprobung, Maskenherstellung Und Justierung Für Die Röntgenlithographie. Eggenstein-Leopoldshafen: Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1982.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Mengel, Peter, und Peter Tischer. Lackerprobung, Maskenherstellung Und Justierung Für Die Röntgenlithographie. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1982.
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