APA (7th ed.) Citation

(1982). Einführung eines Elektronenstrahl-Maskenschreibers für LSI-gerechte Strukturerzeugung. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik.

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Einführung Eines Elektronenstrahl-Maskenschreibers Für LSI-gerechte Strukturerzeugung. Eggenstein-Leopoldshafen: Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1982.

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Einführung Eines Elektronenstrahl-Maskenschreibers Für LSI-gerechte Strukturerzeugung. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1982.