Einfluß von Verunreinigungen von Quarz auf die Reinheit geglühter Halbleiteroberflächen:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Fränz, Ilse (VerfasserIn), Langheinrich, Werner (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: München ZLDI 1968
Schriftenreihe:Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Wissenschaftliche Forschung: Forschungsbericht / W / 68,1-. 68,69
Schlagworte:
Beschreibung:23 S. Ill.

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