Auswirkungen des Abbremsvorganges von Ionen in dünnen Schichten untersucht mittels KARMA am Beispiel der Hochdosisionenimplantation, der Dosisabhängigkeit der Zerstäubungsausbeute und der Verbreiterung von Grenzschichten: KARMA: Kombinierte Auger-Röntgen-Mikroanalyse
Gespeichert in:
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| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Jülich
1980
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1698 |
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