Automatisierte und hochauslösende Elektronenstrahl-Halbleitertechnologie: Grundlagen zur Justierung u. Physik von Halbleiter-Mikrostrukturen
Gespeichert in:
| Format: | Buch |
|---|---|
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
Eggenstein-Leopoldshafen
Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik
1979
|
| Schriftenreihe: | Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 79,1 -
79,69 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | 67 S. 33Ill. u. graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV009063581 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 940227s1979 ad|| |||| 00||| und d | ||
| 035 | |a (OCoLC)634820353 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV009063581 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | |a und | ||
| 049 | |a DE-210 | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Automatisierte und hochauslösende Elektronenstrahl-Halbleitertechnologie |b Grundlagen zur Justierung u. Physik von Halbleiter-Mikrostrukturen |c Mitarb.: Hermann-Josef Geelen* |
| 264 | 1 | |a Eggenstein-Leopoldshafen |b Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik |c 1979 | |
| 300 | |a 67 S. |b 33Ill. u. graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 79,1 - |v 79,69 | |
| 650 | 0 | 7 | |a Elektronenstrahl |0 (DE-588)4151894-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |a Direktbelichtung |2 gnd |9 rswk-swf | |
| 689 | 0 | 0 | |a Elektronenstrahl |0 (DE-588)4151894-9 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Direktbelichtung |A f |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Geelen, Hermann-Josef |e Sonstige |4 oth | |
| 810 | 2 | |a Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 79,1 - |t Deutschland <Bundesrepublik> |v 79,69 |w (DE-604)BV000004400 |9 79,69 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006002164 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804123472742318080 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV009063581 |
| ctrlnum | (OCoLC)634820353 (DE-599)BVBBV009063581 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01366nam a2200325 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV009063581</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">940227s1979 ad|| |||| 00||| und d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)634820353</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV009063581</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">und</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-210</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Automatisierte und hochauslösende Elektronenstrahl-Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="b">Grundlagen zur Justierung u. Physik von Halbleiter-Mikrostrukturen</subfield><subfield code="c">Mitarb.: Hermann-Josef Geelen*</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Eggenstein-Leopoldshafen</subfield><subfield code="b">Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik</subfield><subfield code="c">1979</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">67 S.</subfield><subfield code="b">33Ill. u. graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 79,1 -</subfield><subfield code="v">79,69</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Elektronenstrahl</subfield><subfield code="0">(DE-588)4151894-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">Direktbelichtung</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Elektronenstrahl</subfield><subfield code="0">(DE-588)4151894-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Direktbelichtung</subfield><subfield code="A">f</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Geelen, Hermann-Josef</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 79,1 -</subfield><subfield code="t">Deutschland <Bundesrepublik></subfield><subfield code="v">79,69</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000004400</subfield><subfield code="9">79,69</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006002164</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | Direktbelichtung gnd |
| genre_facet | Direktbelichtung |
| id | DE-604.BV009063581 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:30:19Z |
| institution | BVB |
| language | Undetermined |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006002164 |
| oclc_num | 634820353 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-210 |
| owner_facet | DE-210 |
| physical | 67 S. 33Ill. u. graph. Darst. |
| publishDate | 1979 |
| publishDateSearch | 1979 |
| publishDateSort | 1979 |
| publisher | Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik |
| record_format | marc |
| series2 | Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 79,1 - |
| spelling | Automatisierte und hochauslösende Elektronenstrahl-Halbleitertechnologie Grundlagen zur Justierung u. Physik von Halbleiter-Mikrostrukturen Mitarb.: Hermann-Josef Geelen* Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1979 67 S. 33Ill. u. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 79,1 - 79,69 Elektronenstrahl (DE-588)4151894-9 gnd rswk-swf Direktbelichtung gnd rswk-swf Elektronenstrahl (DE-588)4151894-9 s Direktbelichtung f DE-604 Geelen, Hermann-Josef Sonstige oth Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 79,1 - Deutschland <Bundesrepublik> 79,69 (DE-604)BV000004400 79,69 |
| spellingShingle | Automatisierte und hochauslösende Elektronenstrahl-Halbleitertechnologie Grundlagen zur Justierung u. Physik von Halbleiter-Mikrostrukturen Elektronenstrahl (DE-588)4151894-9 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4151894-9 |
| title | Automatisierte und hochauslösende Elektronenstrahl-Halbleitertechnologie Grundlagen zur Justierung u. Physik von Halbleiter-Mikrostrukturen |
| title_auth | Automatisierte und hochauslösende Elektronenstrahl-Halbleitertechnologie Grundlagen zur Justierung u. Physik von Halbleiter-Mikrostrukturen |
| title_exact_search | Automatisierte und hochauslösende Elektronenstrahl-Halbleitertechnologie Grundlagen zur Justierung u. Physik von Halbleiter-Mikrostrukturen |
| title_full | Automatisierte und hochauslösende Elektronenstrahl-Halbleitertechnologie Grundlagen zur Justierung u. Physik von Halbleiter-Mikrostrukturen Mitarb.: Hermann-Josef Geelen* |
| title_fullStr | Automatisierte und hochauslösende Elektronenstrahl-Halbleitertechnologie Grundlagen zur Justierung u. Physik von Halbleiter-Mikrostrukturen Mitarb.: Hermann-Josef Geelen* |
| title_full_unstemmed | Automatisierte und hochauslösende Elektronenstrahl-Halbleitertechnologie Grundlagen zur Justierung u. Physik von Halbleiter-Mikrostrukturen Mitarb.: Hermann-Josef Geelen* |
| title_short | Automatisierte und hochauslösende Elektronenstrahl-Halbleitertechnologie |
| title_sort | automatisierte und hochauslosende elektronenstrahl halbleitertechnologie grundlagen zur justierung u physik von halbleiter mikrostrukturen |
| title_sub | Grundlagen zur Justierung u. Physik von Halbleiter-Mikrostrukturen |
| topic | Elektronenstrahl (DE-588)4151894-9 gnd |
| topic_facet | Elektronenstrahl Direktbelichtung |
| volume_link | (DE-604)BV000004400 |
| work_keys_str_mv | AT geelenhermannjosef automatisierteundhochauslosendeelektronenstrahlhalbleitertechnologiegrundlagenzurjustierunguphysikvonhalbleitermikrostrukturen |