Die Ladungsträgerbeweglichkeit in röntgenlithographisch hergestellten Submikron-MOS-Transistoren:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Microfilm Book |
| Language: | German |
| Published: |
1993
|
| Subjects: | |
| Item Description: | Berlin, Techn. Univ., Diss.. - Mikroreprod. e. Ms. II, 119 S. |
| Physical Description: | 2 Mikrofiches 24x |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV009035047 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20200406 | ||
| 007 | he|uuuuuuuuuu | ||
| 008 | 940227s1993 |||| bm||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)257413974 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV009035047 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-29T |a DE-91 |a DE-355 |a DE-11 | ||
| 084 | |a ELT 358d |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 704d |2 stub | ||
| 084 | |a ELT 321d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Wildau, Hans-Jürgen |d 1964- |e Verfasser |0 (DE-588)172664438 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Die Ladungsträgerbeweglichkeit in röntgenlithographisch hergestellten Submikron-MOS-Transistoren |c von Hans-Jürgen Wildau |
| 264 | 1 | |c 1993 | |
| 300 | |a 2 Mikrofiches |b 24x | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b h |2 rdamedia | ||
| 338 | |b he |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Berlin, Techn. Univ., Diss.. - Mikroreprod. e. Ms. II, 119 S. | ||
| 650 | 4 | |a MOS-FET - Nanostruktur - Ladungsträgerbeweglichkeit | |
| 650 | 0 | 7 | |a Nanostruktur |0 (DE-588)4204530-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a MOS-FET |0 (DE-588)4207266-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ladungsträgerbeweglichkeit |0 (DE-588)4166398-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a MOS-FET |0 (DE-588)4207266-9 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Nanostruktur |0 (DE-588)4204530-7 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Ladungsträgerbeweglichkeit |0 (DE-588)4166398-6 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005977559 | ||
Record in the Search Index
| _version_ | 1804123388564733952 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Wildau, Hans-Jürgen 1964- |
| author_GND | (DE-588)172664438 |
| author_facet | Wildau, Hans-Jürgen 1964- |
| author_role | aut |
| author_sort | Wildau, Hans-Jürgen 1964- |
| author_variant | h j w hjw |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV009035047 |
| classification_tum | ELT 358d PHY 704d ELT 321d |
| ctrlnum | (OCoLC)257413974 (DE-599)BVBBV009035047 |
| discipline | Physik Elektrotechnik |
| format | Microfilm Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01463nam a2200397 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV009035047</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20200406 </controlfield><controlfield tag="007">he|uuuuuuuuuu</controlfield><controlfield tag="008">940227s1993 |||| bm||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)257413974</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV009035047</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 358d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 704d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 321d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Wildau, Hans-Jürgen</subfield><subfield code="d">1964-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)172664438</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Die Ladungsträgerbeweglichkeit in röntgenlithographisch hergestellten Submikron-MOS-Transistoren</subfield><subfield code="c">von Hans-Jürgen Wildau</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1993</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">2 Mikrofiches</subfield><subfield code="b">24x</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">h</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">he</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Berlin, Techn. Univ., Diss.. - Mikroreprod. e. Ms. II, 119 S.</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">MOS-FET - Nanostruktur - Ladungsträgerbeweglichkeit</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Nanostruktur</subfield><subfield code="0">(DE-588)4204530-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">MOS-FET</subfield><subfield code="0">(DE-588)4207266-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ladungsträgerbeweglichkeit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4166398-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">MOS-FET</subfield><subfield code="0">(DE-588)4207266-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Nanostruktur</subfield><subfield code="0">(DE-588)4204530-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Ladungsträgerbeweglichkeit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4166398-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005977559</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV009035047 |
| illustrated | Not Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:28:59Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005977559 |
| oclc_num | 257413974 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29T DE-91 DE-BY-TUM DE-355 DE-BY-UBR DE-11 |
| owner_facet | DE-29T DE-91 DE-BY-TUM DE-355 DE-BY-UBR DE-11 |
| physical | 2 Mikrofiches 24x |
| publishDate | 1993 |
| publishDateSearch | 1993 |
| publishDateSort | 1993 |
| record_format | marc |
| spelling | Wildau, Hans-Jürgen 1964- Verfasser (DE-588)172664438 aut Die Ladungsträgerbeweglichkeit in röntgenlithographisch hergestellten Submikron-MOS-Transistoren von Hans-Jürgen Wildau 1993 2 Mikrofiches 24x txt rdacontent h rdamedia he rdacarrier Berlin, Techn. Univ., Diss.. - Mikroreprod. e. Ms. II, 119 S. MOS-FET - Nanostruktur - Ladungsträgerbeweglichkeit Nanostruktur (DE-588)4204530-7 gnd rswk-swf MOS-FET (DE-588)4207266-9 gnd rswk-swf Ladungsträgerbeweglichkeit (DE-588)4166398-6 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content MOS-FET (DE-588)4207266-9 s Nanostruktur (DE-588)4204530-7 s Ladungsträgerbeweglichkeit (DE-588)4166398-6 s DE-604 |
| spellingShingle | Wildau, Hans-Jürgen 1964- Die Ladungsträgerbeweglichkeit in röntgenlithographisch hergestellten Submikron-MOS-Transistoren MOS-FET - Nanostruktur - Ladungsträgerbeweglichkeit Nanostruktur (DE-588)4204530-7 gnd MOS-FET (DE-588)4207266-9 gnd Ladungsträgerbeweglichkeit (DE-588)4166398-6 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4204530-7 (DE-588)4207266-9 (DE-588)4166398-6 (DE-588)4113937-9 |
| title | Die Ladungsträgerbeweglichkeit in röntgenlithographisch hergestellten Submikron-MOS-Transistoren |
| title_auth | Die Ladungsträgerbeweglichkeit in röntgenlithographisch hergestellten Submikron-MOS-Transistoren |
| title_exact_search | Die Ladungsträgerbeweglichkeit in röntgenlithographisch hergestellten Submikron-MOS-Transistoren |
| title_full | Die Ladungsträgerbeweglichkeit in röntgenlithographisch hergestellten Submikron-MOS-Transistoren von Hans-Jürgen Wildau |
| title_fullStr | Die Ladungsträgerbeweglichkeit in röntgenlithographisch hergestellten Submikron-MOS-Transistoren von Hans-Jürgen Wildau |
| title_full_unstemmed | Die Ladungsträgerbeweglichkeit in röntgenlithographisch hergestellten Submikron-MOS-Transistoren von Hans-Jürgen Wildau |
| title_short | Die Ladungsträgerbeweglichkeit in röntgenlithographisch hergestellten Submikron-MOS-Transistoren |
| title_sort | die ladungstragerbeweglichkeit in rontgenlithographisch hergestellten submikron mos transistoren |
| topic | MOS-FET - Nanostruktur - Ladungsträgerbeweglichkeit Nanostruktur (DE-588)4204530-7 gnd MOS-FET (DE-588)4207266-9 gnd Ladungsträgerbeweglichkeit (DE-588)4166398-6 gnd |
| topic_facet | MOS-FET - Nanostruktur - Ladungsträgerbeweglichkeit Nanostruktur MOS-FET Ladungsträgerbeweglichkeit Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT wildauhansjurgen dieladungstragerbeweglichkeitinrontgenlithographischhergestelltensubmikronmostransistoren |