Schott, K. (1991). Simulation der lokalen Oxidation von Silizium unter Berücksichtigung viskoelastischen Verhaltens des Oxids.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Schott, Klaus. Simulation Der Lokalen Oxidation Von Silizium Unter Berücksichtigung Viskoelastischen Verhaltens Des Oxids. 1991.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Schott, Klaus. Simulation Der Lokalen Oxidation Von Silizium Unter Berücksichtigung Viskoelastischen Verhaltens Des Oxids. 1991.
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