International Conference on Micro-Electro-, -Opto-, -Mechanic Systems and Components Berlin, West. (1990). Katalog: Micro System Technologies 90 ; 1. Internationaler Kongreß und Fachmesse für Mikrosystemtechnik, ICC Berlin, 10. - 13. 9. 1990. MESAGO.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)International Conference on Micro-Electro-, -Opto-, -Mechanic Systems and Components Berlin, West. Katalog: Micro System Technologies 90 ; 1. Internationaler Kongreß Und Fachmesse Für Mikrosystemtechnik, ICC Berlin, 10. - 13. 9. 1990. Stuttgart: MESAGO, 1990.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)International Conference on Micro-Electro-, -Opto-, -Mechanic Systems and Components Berlin, West. Katalog: Micro System Technologies 90 ; 1. Internationaler Kongreß Und Fachmesse Für Mikrosystemtechnik, ICC Berlin, 10. - 13. 9. 1990. MESAGO, 1990.