Photoemissionsspektroskopische Untersuchungen zum Einfluss heterovalenter Grenzflächen auf die Banddiskontinuität von GaAs(100)/Ge und III-V Halbleiterkontakten:
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Veröffentlicht: |
Jülich
Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibliothek
1993
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2828 |
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INHALT
ZUSAMMENFASSUNG
7
1
EINLEITUNG
9
2
DER
HALBLEITER-HETEROKONTAKT
11
2.1
DIE
BANDANORDNUNG
.
11
2.2
MODELLVORSTELLUNGEN
.
12
2.2.1
LINEARE
MODELLE
.
12
2.2.2
GRENZFLAECHEN-BETONTE
MODELLE
.
19
2.3
BEEINFLUSSUNG
VON
BANDDISKONTINUITAETEN
.
21
3
EXPERIMENTELLE
METHODEN
23
3.1
PHOTOEMISSIONSSPEKTROSKOPIE
.
23
3.1.1
DAS
DREI-STUFEN-MODELL
.
23
3.1.2
DAS
EIN-STUFEN-MODELL
.
28
3.1.3
CHARAKTERISIERUNG
VON
HALBLEITER-HETEROSTRUKTUREN
.
29
3.2
ELEKTRONENBEUGUNG
.
35
3.2.1
LEED
.
35
3.2.2
RHEED
.
38
3.3
INELASTISCHE
LICHTSTREUUNG
.
39
3.3.1
PRINZIP
.
39
3.3.2
KONTROLLE
DER
KRISTALLQUALITAET
.
42
3.4
MOLEKULARSTRAHLEPITAXIE
.
42
3.4.1
PRINZIP
.
42
3.4.2
WACHSTUMSPROZESS
.
43
4
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
47
4.1
UH
V-APPARATUR
.
47
4.1.1
ANALYSEKAMMER
.
47
4.1.2
PRAEPARATIONSKAMMER
.
53
4.2
PROBEN
UND
PROBENPRAEPARATION
.
55
4.3
ZUR
BESTIMMUNG
DER
BANDDISKONTINUITAET
.
56
5
DATENAUSWERTUNG
59
5.1
METHODEN
DER
KURVENANPASSUNG
.
59
5.2
AUSWAHL
DER
MODELLFUNKTIONEN
.
60
5.2.1
RUMPFNIVEAUBANDEN
.
60
2
INHALTSVERZEICHNIS
5.2.2
BESTIMMUNG
DES
VALENZBANDMAXIMUMS
.
62
5.2.3
MODELLIERUNG
DER
HEL-SATELLITEN
.
64
5.3
ANALYSE
DER
MISCHBETRIEBSSPEKTREN
.
66
6
III-V
ZWISCHENSCHICHTEN
IN
GAAS(100)/GE
STRUKTUREN
69
6.1
DAS
SCHICHTSYSTEM
GAAS(100)/GE
.
69
6.1.1
MESSERGEBNISSE
.
70
6.1.2
DISKUSSION
.
74
6.2
GAAS(100)/ALAS/GE
.
76
6.2.1
MESSERGEBNISSE
.
76
6.2.2
DISKUSSION
.
80
6.3
GAAS(100)/INAS/GE
.
82
6.3.1
MESSERGEBNISSE
.
82
6.3.2
DISKUSSION
.
83
7
GRUPPE
IV
ZWISCHENSCHICHTEN
IN
III-V
STRUKTUREN
87
7.1
GAAS/ALAS
HETEROSTRUKTUREN
.
87
7.1.1
BEEINFLUSSUNG
VON
.
89
7.1.2
BEEINFLUSSUNG
DER
GRENZFLAECHENMORPHOLOGIE
.
92
7.2
GAAS/INAS
HETEROSTRUKTUREN
.
100
7.2.1
WACHSTUM
DER
HETEROSTRUKTUREN
.
101
7.2.2
SI
UND
GE-ZWISCHENSCHICHTEN
.
HO
7.3
GAAS
UND
INAS
HOMOSTRUKTUREN
.
115
7.3.1
MESSERGEBNISSE
.
115
7.3.2
DISKUSSION
.
117
8
SCHLUSS
119
LITERATURVERZEICHNIS
121
DANKSAGUNG
129 |
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